[发明专利]日冕仪物镜散射杂散光的检测装置及检测方法

说明书

本发明公开了日冕仪物镜散射杂散光的检测装置及检测方法，所述检测装置包括光源、检测模块及探测器，沿光路方向依次安装有可调光阑I、消杂光光阑组、场镜组件、成像镜组件，待检镜片设于所述可调光阑I与消杂光光阑组之间靠近可调光阑I的位置，通过所述可调光阑I、消杂光光阑组、场镜组件及成像镜组件，最大程度的遮挡镜筒内杂散光光束。采用上述方案的检测装置，与现有技术相比，采用直接成像直接检测的方式，检测过程便捷，检测结果更直观，大大减小了检测复杂度及难度。

技术领域

本发明涉及日冕仪物镜检测技术领域，特别涉及一种利用鬼像原理的日冕仪物镜散射杂散光的检测装置及检测方法。

背景技术

日冕仪是通过遮挡太阳从而观测日冕的装置。由于日冕仪的物镜直接受到太阳照射，使得物镜表面的光滑程度及缺陷情况要求非常高，并由于存在物镜表面加工水平未达到要求，在运输过程中造成损坏、划痕等，以及包装的残留物附着在物镜表面等原因都可能造成物镜表面的洁净程度降低，以上情况会对日冕观测造成非常大的干扰。因此，技术人员需要定期清洁日冕仪物镜，以控制表面灰尘、污点数量，确保日冕仪观测过程中物镜产生的杂散光水平，因此需要特定装置对日冕仪物镜的清洁程度进行检测量化。

目前，对日冕仪物镜的检测主要是分为两个方面。一方面，对物镜表面的划痕、麻点进行检测，通常采用观测技术；另一方面，对物镜表面粗糙度进行检测，通常采用AFM、激光干涉仪或轮廓仪等设备检测，得到的检测结果是表面粗糙度的方均根值，并不能直接对散射强度给出量化结果。此外，表面粗糙度的检测装置均为多个采样点检测，每个采样点大小一般不超过边长为0.5mm的正方形范围，如此一来，对于100mm以上口径的物镜，以上装置的检测结果并不能代表其全面的表面粗糙度。当然，对表面粗糙度的检测也可以使用夫琅禾费散射仪，但是其价格昂贵，检测速度慢，实用性差。

日冕仪对物镜的要求为对内部杂质、表面划痕、麻点及表面粗糙度等的总散射杂散光的上限值，在总散射杂散光满足要求的情况下，可以允许单项散射值偏高。因此，虽然可以分别使用上述方法对物镜的划痕、麻点及表面粗糙度等进行了符合相应指标的检测，但是如此一来，不仅检测过程复杂，还可能会导致综合指标过高，无法实现，大大提高检测成本。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明公开了一种日冕仪物镜散射杂散光的检测装置，所述检测装置包括光源、检测模块及探测器，所述检测模块内沿光路方向依次安装有可调光阑I、消杂光光阑组、场镜组件、成像镜组件，待检镜片安装于所述可调光阑I右侧，由所述可调光阑I遮挡进入所述检测模块镜筒的大于待检镜片检测面积的光束，所述探测器将所述检测模块的出光光束进行成像，得到所述待检镜片的散射点与鬼像点，所述散射点包括待检镜片产生的散射光及表面灰尘或污染物产生的杂散光。

优选的，所述消杂光光阑组包括多个消杂光光阑，多个所述消杂光光阑等间隔分布于所述待检镜片到其焦点之间，多个所述消杂光光阑的通光口径逐次等差递减，用于遮挡周围的杂散光和镜筒内壁的散射光或其他杂光，以保证内部的散射光仅为透镜本身产生的散射光。

优选的，所述消杂光光阑组包括消杂光光阑I、消杂光光阑II及消杂光光阑III，设所述消杂光光阑I、消杂光光阑II及消杂光光阑III的通光口径为D₁、D₂、D₃，通光口径：D₁＝D₅+3(D₀-D₅)/4，D₂＝D₅+2(D₀-D₅)/4，D₃＝D₅+(D₀-D₅)/4，其中D₅为可调光阑II的通光口径，D₀为待检镜片的通光口径。