[发明专利]一种晶圆减薄装置

权利要求书

1.一种晶圆减薄装置，其特征在于，包括电源与工具电极，所述电源的一极与所述工具电极电连接，所述电源的另一极能够与待加工的晶圆电连接，所述工具电极上设有多个放电端子。

2.根据权利要求1所述的晶圆减薄装置，其特征在于，所述工具电极包括主体，多个所述放电端子均匀阵列在所述主体的外侧。

3.根据权利要求2所述的晶圆减薄装置，其特征在于，所述放电端子与所述主体间设有绝缘层，所述主体上设有若干电容。

4.根据权利要求2所述的晶圆减薄装置，其特征在于，所述主体包括圆形基盘，所述圆形基盘中设置若干电容槽以安装电容，所述圆形基盘的侧面向外突出形成若干凸起，所述凸起间形成安装槽以安装所述放电端子，不同所述放电端子对应不同所述电容。

5.根据权利要求2所述的晶圆减薄装置，其特征在于，多个所述放电端子相互独立，所述电源进行放电时，多个所述放电端子分别向待加工的所述晶圆进行放电。

6.根据权利要求2所述的晶圆减薄装置，其特征在于，所述电源为脉冲电源，且在所述电源进行一次脉冲放电时，各所述放电端子均对所述晶圆进行放电。

7.根据权利要求1所述的晶圆减薄装置，其特征在于，所述工具电极能与所述晶圆相对旋转，所述工具电极与所述晶圆的轴向距离可调。

8.根据权利要求7所述的晶圆减薄装置，其特征在于，还设置用于存储绝缘液体的容器，所述工具电极和所述晶圆置于所述容器内，所述绝缘液体为煤油、矿物油或去离子水中一种或多种，所述绝缘液体中分散有用以改善放电状态的颗粒。

9.根据权利要求8所述的晶圆减薄装置，其特征在于，所述工具电极和所述晶圆浸入所述绝缘液体内；或所述绝缘液体通过供给管流向所述晶圆表面以使所述绝缘液体充满所述工具电极与所述晶圆表面间的缝隙。

10.根据权利要求7所述的晶圆减薄装置，其特征在于，各所述放电端子间留有缝隙。