[发明专利]掩膜板的污渍检测方法和设备

权利要求书

1.一种掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，包括：

预先设定一组尺寸从大到小排列的多级标准图像；所述多级标准图像中，第一级标准图像为待测掩膜板的局部标准图像，所述标准图像中其余级别图像为其前一级标准图像的局部标准图像；

获取待测掩膜板图像；

以所述待测掩膜板图像全部区域为待测区域图像，调取所述多级标准图像中尺寸非最小的一级标准图像作为对比图像与所述待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像；

若所述局部图像包含污渍图像，则以所述局部图像作为新的待测区域图像，调取所述对比图像的下一级标准图像作为新的对比图像，与所述新的待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像，并循环执行此步骤直至调取的所述对比图像为所述多级标准图像中最小级别标准图像，以得到待测掩膜板图像中污渍图像位置。

2.根据权利要求1所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，所述多级标准图像包括尺寸从大到小排列的第一级标准图像、第二级标准图像和第三级标准图像；

在所述获取待测掩膜板图像之后，包括：

以所述待测掩膜板图像全部区域为待测区域图像，调取所述第一级标准图像作为对比图像与所述待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像；

若所述局部图像包含污渍图像，则以所述局部图像作为新的待测区域图像，调取所述第二级标准图像作为新的对比图像，与所述新的待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像；

若所述局部图像包含污渍图像，则以所述局部图像作为新的待测区域图像，调取所述第三级标准图像作为新的对比图像，与所述新的待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像；得到待测掩膜板图像中污渍图像位置。

3.根据权利要求1所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，还包括：

若所述局部图像不包含污渍，则将所述待测区域图像中的其他局部图像与所述对比图像进行对比，执行根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像的步骤。

4.根据权利要求3所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，所述待测区域图像中包括多个局部图像，且所述多个局部图像呈阵列排布；

所述待测区域图像中的局部图像沿行方向依次与所述对比图像进行对比；或者，

所述待测区域图像中的局部图像沿列方向依次与所述对比图像进行对比；或者，

所述待测区域图像中的局部图像沿螺旋形轨迹依次与所述对比图像进行对比；或者，

所述待测区域图像中的局部图像沿折线形轨迹依次与所述对比图像进行对比。

5.根据权利要求1所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，在得到所述待测掩膜板图像的污渍位置的同时，还包括：

统计所述待测掩膜板图像的污渍数量。

6.根据权利要求1所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，尺寸最小的一级标准图像包括一个开孔；

与所述尺寸最小的一级标准图像进行对比的局部图像包括一个开孔。

7.根据权利要求1所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，所述待测区域图像的局部图像与所述对比图像的形状相同、大小相同。

8.根据权利要求7所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，所述标准图像包括N×N个开孔，其中，N为正整数。

9.根据权利要求7所述的掩膜板的污渍检测方法，其特征在于，所述标准图像的形状包括：矩形、扇形、圆形和环形中的至少一种。

10.一种掩膜板的污渍检测设备，其特征在于，包括：

标准图像设定模块，用于预先设定一组尺寸从大到小排列的多级标准图像；所述多级标准图像中，第一级标准图像为待测掩膜板的局部标准图像，所述标准图像中其余级别图像为其前一级标准图像的局部标准图像；

图像获取模块，用于获取待测掩膜板图像；

比对模块，用于以所述待测掩膜板图像全部区域为待测区域图像，调取所述多级标准图像中尺寸非最小的一级标准图像作为对比图像与所述待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像；

位置确定模块，用于若所述局部图像包含污渍图像，则以所述局部图像作为新的待测区域图像，调取所述对比图像的下一级标准图像作为新的对比图像，与所述新的待测区域图像进行对比，根据对比结果判断所述待测区域图像的局部图像是否包含污渍图像，并循环执行此步骤直至调取的所述对比图像为所述多级标准图像中最小级别标准图像，以得到待测掩膜板图像中污渍图像位置。