[发明专利]化学机械抛光系统以及相关的派工管理方法

权利要求书

1.一种于计算机上试运行的派工管理方法，应用于化学机械抛光机台，包含以下步骤：

根据多个化学机械抛光机台的机台信息来产生K组初始化工作调度；

根据该K组初始化工作调度各自的适应度参数来对该K组初始化工作调度进行筛选，以产生L组中间工作调度；

分别对该L组中间工作调度进行M次交叉运算以产生M组交叉后工作调度，其中该M次交叉运算中每一次交叉运算系从该L组中间工作调度中不同的两组工作调度各取部分内容进行混合排列，以产生一组交叉后工作调度；

分别对该L组中间工作调度以及该M组交叉后工作调度的内容进行变异运算，以产生N组变异后工作调度；

对该L组中间工作调度、该M组交叉后工作调度以及该N组变异后工作调度进行优化运算，以产生一组目标工作调度；以及

自动地根据该组目标工作调度来进行对应所述化学机械抛光机台的派工，

其中该K组初始化工作调度各自的该适应度参数包含周速，该周速为运算时间、产品试生产过程的时间以及前端闲置暖机时间的加总。

2.如权利要求1所述的派工管理方法，其中所述化学机械抛光机台的机台信息包含以下信息：

产品所属群组、机台空闲时间以及机台运作时间。

3.如权利要求1所述的派工管理方法，其中该L组中间工作调度相较于该K组初始化工作调度中其余的初始化工作调度具有较短的周速。

4.如权利要求1所述的派工管理方法，其中分别对该L组中间工作调度进行M次交叉运算以产生该M组交叉后工作调度的步骤包含：

以该L组中间工作调度所能交叉出的最大数量或一预定数量来定义M值。

5.如权利要求1所述的派工管理方法，其中分别对该L组中间工作调度以及该M组交叉后工作调度的内容进行变异运算以产生该N组变异后工作调度的步骤包含：

分别对该L组中间工作调度以及该M组交叉后工作调度中的N组工作调度的每一工作调度进行随机扰乱，以产生该N组变异后工作调度。

6.如权利要求1所述的派工管理方法，其中对该L组中间工作调度、该M组交叉后工作调度以及该N组变异后工作调度进行优化运算，以产生该组目标工作调度的步骤包含：

根据所述化学机械抛光机台的工作时间、派工处理时间以及前端闲置暖机时间的加总时间，来从该L组中间工作调度、该M组交叉后工作调度以及该N组变异后工作调度中选出具有最短加总时间的一组工作调度来作为该目标工作调度。

7.如权利要求1所述的派工管理方法，还包含：

根据该目标工作调度来调整所述化学机械抛光机台被使用的数量。

8.如权利要求1所述的派工管理方法，还包含：

根据该目标工作调度来调整所述化学机械抛光机台的装载槽装载晶圆的数量。

9.如权利要求1所述的派工管理方法，其中自动地根据该组目标工作调度来进行对应所述化学机械抛光机台的派工步骤包含：

将该目标工作调度传送至一实时派工系统来进行化学机械抛光派工。