[发明专利]一种非制冷光学读出式红外热成像系统在审
申请号: | 202010136070.5 | 申请日: | 2020-03-02 |
公开(公告)号: | CN111380829A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 王敏;李松 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
主分类号: | G01N21/35 | 分类号: | G01N21/35 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 刘芙蓉;刘文求 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制冷 光学 读出 红外 成像 系统 | ||
1.一种非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,包括从前至后依次排列的前端结构、激发光源和后端结构,所述前端结构包括真空腔以及位于所述真空腔内且从前至后依次设置的透镜、红外探测阵列、样品台及后视镜,所述透镜、所述红外探测阵列及所述样品台和所述后视镜的中心位置均在同一直线上,所述红外探测阵列包括若干个探测单元,所述探测单元包括下至上依次设置的支撑结构、温敏发光层、反射层、吸收层以及硅微透镜。
2.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述样品台为中间镂空平面,所述样品台底部设置有支脚,所述支脚固定设置在所述真空腔的内壁上。
3.根据权利要求2所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述红外探测阵列设置在所述样品台的镂空部位上方。
4.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述透镜为锗红外非球面透镜。
5.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述温敏发光层的材料为温敏漆材料。
6.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述吸收层材料为多孔铬。
7.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述反射层材料为铝。
8.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述后视镜为高透射率石英玻璃。
9.根据权利要求1所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述后端结构包括滤波片、镜头、CCD相机。
10.根据权利要求9所述的非制冷光学读出式红外热成像系统,其特征在于,所述滤波片为带通滤波片。
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