[发明专利]一种非制冷光学读出式红外热成像系统

说明书

本发明公开了一种非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，包括从前至后依次排列的前端结构、激发光源和后端结构，所述前端结构包括真空腔以及位于所述真空腔内从前至后依次设置的透镜、红外探测阵列、样品台及后视镜，所述透镜、所述红外探测阵列及所述样品台和所述后视镜的中心位置均在一条直线上，所述红外探测阵列包括若干个探测单元，所述探测单元包括下至上依次设置的支撑结构、温敏发光层、反射层、吸收层以及硅微透镜。本发明解决了现有的红外成像系统的结构及制备工艺复杂，成本高的技术问题。

技术领域

本发明涉及红外成像技术领域，尤其涉及一种非制冷光学读出式红外热成像系统。

背景技术

自然界中的任何物体在温度高于绝对零度的条件下都可以向外发射红外辐射，其中，红外辐射是指波长范围在0.75-1000μm之间的电磁波，又被称为热辐射或者红外线。红外热成像是一种非接触、非侵入、快速高效的技术，通过检测红外辐射并测定红外辐射的强弱可实现人类对红外波段的探测，红外热成像技术在军事上常被用于侦察、卫星及飞机遥感等领域，在生活中常用于生产质量检测、医疗诊断、车载夜视系统以及安保监控等。

红外成像系统可分为光电探测器和红外热探测器两种，其中，光电探测器的响应频率快，探测灵敏度高，但是在实际应用过程中需要搭载复杂笨重的制冷设备，从而导致探测器的体积大，难以小型化，价格昂贵；红外热探测器分为电学读出式和光学读出式两种，电学读出式探测器的电路制备工艺复杂，随着像素点增加自身发热导致热扰动也增加，影响测试精度，光学读出式探测器，如双材料微悬臂探测阵列及法布里-玻罗微腔探测器，对材料的要求较高，材料的制备和性能优化都非常困难。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种非制冷光学读出式红外热成像系统，旨在解决现有的红外成像系统的结构及制备工艺复杂，成本高的问题。

本发明的技术方案如下：

一种非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，包括从前至后依次排列的前端结构、激发光源和后端结构，所述前端结构包括真空腔以及位于所述真空腔内且从前至后依次设置的透镜、红外探测阵列、样品台及后视镜，所述透镜、所述红外探测阵列及所述样品台和所述后视镜的中心位置均在同一直线上，所述红外探测阵列包括若干个探测单元，所述探测单元包括从下至上依次设置的支撑结构、温敏发光层、反射层、吸收层以及硅微透镜。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述样品台为中间镂空平面，所述样品台底部设置有支脚，所述支脚固定设置在所述真空腔的内壁上。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述红外探测阵列设置在所述样品台的镂空部位上方。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述透镜为锗红外非球面透镜。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述温敏发光层的材料为温敏漆材料。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述吸收层材料为多孔铬。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述反射层材料为铝。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述后视镜为高透射率石英玻璃。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述后端结构包括滤波片、镜头、CCD相机。

所述的非制冷光学读出式红外热成像系统，其中，所述滤波片为带通滤波片。