[发明专利]一种多通道喷射电沉积装置

权利要求书

1.一种多通道喷射电沉积装置，其特征在于，包括第一导轨(1)、第二导轨(16)和喷头(18)，所述第一导轨(1)利用滑块(2)滑动连接在第二导轨(16)两端，所述喷头(18)活动地安装在第二导轨(16)上，所述喷头(18)具有多通道，且与电源(14)的正极相连，并正对着下端连有电源(14)负极的底板(17)，所述喷头(18)通过喷液泵(13)与溶液槽(10)相连，所述底板(17)通过吸液泵(8)与溶液槽(10)相连，所述喷液泵(13)和吸液泵(8)分别与控制器(9)相连。

2.根据权利要求1所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，还包括支撑架(7)，所述支撑架(7)由基座和设在基座四角的立柱构成，所述第一导轨(1)和第二导轨(16)安装在支架(7)的立柱上，所述第一导轨(1)和第二导轨(16)上装有定位装置(15)，所述定位装置(15)包括第一滚轴(15-1)、第二滚轴(15-2)、第一皮带(15-3)、第二皮带(15-4)，所述第一滚轴(15-1)、第二滚轴(15-2)安装在支架(7)的立柱上，所述第一皮带(15-3)套在第一滚轴(15-1)、第二滚轴(15-2)大轴上，所述第二皮带(15-4)穿过喷头(18)套在第一滚轴(15-1)、第二滚轴(15-2)小轴上。

3.根据权利要求2所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，所述支架(7)上装有竖直定位装置，所述底板(17)放置于竖直定位装置上。

4.根据权利要求3所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，所述竖直定位装置包括底座(3)、丝杠(4)、电机(5)、电机开关(6)，所述电机开关(6)安装在支架(7)基座上，所述丝杠(4)竖直安装在支架(7)基座上，底端装有电机(5)，所述电机(5)和电机开关(6)电连接，所述底座(3)活动地安装在丝杠(4)上，所述底板(17)放置于底座(3)上。

5.根据权利要求1所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，所述喷头(18)通过回流管(11)与吸液泵(8)相连，通过输液管(12)与喷液泵(13)相连。

6.根据权利要求1所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，所述喷头(18)包括第一流道(18-1)、第一单向阀(18-2)、第二流道(18-3)、第三流道(18-4)、第二单向阀(18-5)、第三单向阀(18-6)、第一喷嘴(18-7)和第二喷嘴(18-8)，所述第一流道(18-1)连接第一喷嘴(18-7)，所述第一流道(18-1)上设有连接第三流道(18-4)的第一支路，且入口端与第二阀门开关10-2控制的流道相连接，所述第一单向阀(18-2)设置在第一支路上，所述第三流道(18-4)与第二流道(18-3)连接处设有第二单向阀(18-5)，且入口端与第二阀门开关(10-1)控制的流道相连接，所述第二单向阀(18-5)处设有连接第三流道(18-4)的第二支路，所述第二支路上设有第三单向阀(18-6)，所述第二流道(18-3)连接第二喷嘴(18-8)。

7.根据权利要求6所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，所述第一单向阀(18-2)、第二单向阀(18-5)和第三单向阀(18-6)的阀缸面积S1、S2、S3与各自阀内弹簧的弹性系数K1、K2、K3的关系为：ai＝Si×Ki×Xi，其中ai为单向阀的开启压力，Xi为弹簧的压缩量，i＝1、2、3。

8.根据权利要求7所述的多通道喷射电沉积装置，其特征在于，所述第一单向阀(18-2)、第二单向阀(18-5)和第三单向阀(18-6)的开启压力分别为a1＝0.07～0.1MPa、a2＝0.01～0.08MPa、a3＝0.12～0.2MPa。