[发明专利]一种多通道喷射电沉积装置

说明书

本发明公开了一种多通道喷射电沉积装置，包括第一导轨、第二导轨和喷头，第一导轨利用滑块滑动连接在第二导轨两端，喷头活动地安装在第二导轨上，喷头具有多通道，且与电源的正极相连，并正对着下端连有电源负极的底板，喷头通过喷液泵与溶液槽相连，底板通过吸液泵与溶液槽相连，喷液泵和吸液泵分别与控制器相连。该装置能够实现电沉积装置多通道交替喷镀，喷镀位置精确，电沉积效率高。

技术领域

本发明涉及电沉积装置，更具体地，涉及一种多通道喷射电沉积装置。

背景技术

电沉积技术是金属电解冶炼、电镀过程的基础，在传统的装饰、耐磨、减摩、防腐蚀和表面改性、电性能镀层、光学性能镀层新材料的开发等方面成为了非常重要的现代加工技术。但目前的电沉积过程中存在浓度极化、结合力差、极限电流密度小等现象，使得电沉积效率低，且目前的电沉积装置中喷头仅仅可实现单喷到喷镀，喷镀效果单一，喷镀位置难以控制，难以实现喷镀过程中交替喷镀的功能。

发明内容

发明目的：本发明的目的是提供一种能够实现多通道喷镀、喷镀位置精确、电沉积效率高的多通道喷射电沉积装置。

技术方案：本发明所述的多通道喷射电沉积装置，包括第一导轨、第二导轨和喷头，第一导轨利用滑块滑动连接在第二导轨两端，喷头活动地安装在第二导轨上，喷头具有多通道，且与电源的正极相连，并正对着下端连有电源负极的底板，喷头通过喷液泵与溶液槽相连，底板通过吸液泵与溶液槽相连，喷液泵和吸液泵分别与控制器相连。

其中，还包括支撑架，支撑架由基座和设在基座四角的立柱构成，第一导轨和第二导轨安装在支架的立柱上，第一导轨和第二导轨上装有定位装置，定位装置包括第一滚轴、第二滚轴、第一皮带、第二皮带，第一滚轴、第二滚轴安装在支架的立柱上，第一皮带套在第一滚轴、第二滚轴大轴上，第二皮带穿过喷头套在第一滚轴、第二滚轴小轴上；支架上装有竖直定位装置，底板放置于竖直定位装置上；竖直定位装置包括底座、丝杠、电机、电机开关，电机开关安装在支架基座上，丝杠竖直安装在支架基座上，底端装有电机，电机和电机开关电连接，底座活动地安装在丝杠上，底板放置于底座上；喷头通过回流管与吸液泵相连，通过输液管与喷液泵相连；喷头包括第一流道、第一单向阀、第二流道、第三流道、第二单向阀、第三单向阀、第一喷嘴和第二喷嘴，第一流道连接第一喷嘴，第一流道上设有连接第三流道的第一支路，且入口端与第二阀门开关控制的流道相连接，第一单向阀设置在第一支路上，第三流道与第二流道连接处设有第二单向阀，且入口端与第二阀门开关控制的流道相连接，第二单向阀处设有连接第三流道的第二支路，第二支路上设有第三单向阀，第二流道连接第二喷嘴；第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀的阀缸面积S1、S2、S3与各自阀内弹簧的弹性系数K1、K2、K3的关系为：ai＝Si×Ki×Xi，其中ai为单向阀的开启压力，Xi为弹簧的压缩量，i＝1、2、3；第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀的开启压力分别为a1＝0.07～0.1MPa、a2＝0.01～0.08MPa、a3＝0.12～0.2MPa；溶液槽包括第一阀门开关、第二阀门开关、第一溶液槽、回流槽、第二溶液槽和控温装置，第一溶液槽和第二溶液槽与喷液泵相连，第一溶液槽连接有第一阀门开关，第二溶液槽连接有第二阀门开关，回流槽与吸液泵相连，控温装置设置在第一溶液槽和第二溶液槽外侧；底板表面设有电解液流入孔，内部设有电解液流道。

有益效果：本发明与现有技术相比，其显著优点是：1、实现电沉积装置多通道交替喷镀；2、喷镀位置精确；3、电沉积效率高。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是第一皮带和第二皮带布置示意图；

图3是底板俯视图；

图4是底板剖视图；

图5是喷头剖视图；

图6是溶液槽剖面图；

图7是实施例1电沉积样品俯视图；