[发明专利]吸附缓冲装置

权利要求书

1.一种吸附缓冲装置，其特征在于，具备：

壳体；

驱动轴，被收纳于所述壳体内，被能旋转地支承；

从动轴，被收纳于所述壳体内，能在所述驱动轴的径向外侧或径向内侧相对于所述驱动轴在轴向移动；

可动轴，与所述从动轴连结，能与所述从动轴一体地在所述轴向移动，且所述可动轴具有：连结于所述从动轴的基端部、位于与所述基端部相反的一侧且从所述壳体突出的前端部、在所述前端部吸附移送对象物的吸附部、以及以与所述吸附部连通的方式在所述轴向延伸的轴道；

磁石，在所述驱动轴和所述从动轴中于与所述轴向正交的方向互相对向的面被磁化；及

环状的密封构件，与所述可动轴的邻接于所述从动轴的外周面抵接，将所述外周面与所述壳体之间进行密封；

通过对所述可动轴的所述轴道供给真空压力，从而移送对象物被所述吸附部吸附，

所述从动轴及所述可动轴构成为被容许向所述轴向移动以及以沿着所述轴向延伸的中心轴线为中心旋转，

通过所述磁石的互相对向的面以不同的磁极被磁化，从而所述磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于所述可动轴一面能于所述轴向移动，

所述从动轴的邻接于所述可动轴的前端部与所述密封构件的对向于所述从动轴的基端部能抵接，

在所述从动轴的所述前端部及所述密封构件的所述基端部的至少任一者，设置将所述密封构件的与所述从动轴对向的一侧的外周与内周连通的连通道。

2.如权利要求1所述的吸附缓冲装置，其中，所述连通道设置于所述从动轴的所述前端部。

3.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，在所述驱动轴及所述从动轴的一者，设有在与所述轴向正交的方向延伸的突出部，

在所述驱动轴及所述从动轴的另一者，设有在所述轴向延伸的引导槽，

所述突出部在与所述轴向正交的方向抵接于所述引导槽，并且所述突出部沿着所述引导槽于所述轴向被引导。

4.如权利要求3所述的吸附缓冲装置，其中，所述突出部为滚珠轴承。

5.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，所述从动轴为能使所述驱动轴插入于所述从动轴的内侧并且能相对于所述驱动轴于轴向移动的筒状的轴，

所述磁石包括筒状的驱动轴磁石及筒状的从动轴磁石，所述筒状的驱动轴磁石设置于所述驱动轴的外周面，所述筒状的从动轴磁石设置于所述从动轴的内周面并且配置为相对于所述驱动轴磁石在与所述轴向正交的方向对向。

6.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，所述磁石包括筒状的驱动轴磁石及筒状的从动轴磁石，所述筒状的驱动轴磁石设置于所述驱动轴的外周面，所述筒状的从动轴磁石设置于所述从动轴的内周面并且配置为相对于所述驱动轴磁石在与所述轴向正交的方向对向，

所述驱动轴磁石及所述从动轴磁石以于周向作为磁极被分割为多个的方式，N极和S极交互地被磁化，所述驱动轴磁石的外周面与所述从动轴磁石的内周面的互相对向的面以不同的磁极被磁化，从而所述驱动轴与所述从动轴为非接触且能于旋转方向一体地旋转，所述驱动轴磁石及所述从动轴磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于所述可动轴一面能于轴向移动。

7.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，所述壳体具有支承所述密封构件的台阶面，

所述密封构件在与所述密封构件的所述基端部相反的侧具有前端部，

所述密封构件的所述前端部与所述台阶面抵接，

所述密封构件的所述基端部能与所述从动轴的所述前端部抵接。