[发明专利]吸附缓冲装置

说明书

吸附缓冲装置具备壳体、驱动轴、从动轴、磁石及密封构件。磁石的互相对向的面以不同磁极被磁化，从而磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于该可动轴一面可于该轴向移动。从动轴的邻接于可动轴的前端部及密封构件的对向于从动轴的基端部可抵接。于从动轴的前端部及密封构件的对向于从动轴的基端部的至少任一者，设置将密封构件的对向于从动轴的侧的外周与内周连通的连通道。

技术领域

本发明涉及吸附电子零件等移送对象物的吸附缓冲装置。

背景技术

一般而言，吸附电子零件等移送对象物的吸附缓冲装置安装有致动器。吸附缓冲装置具有吸附移送对象物的吸附部。而且，在通过吸附部吸附移送对象物时，使致动器驱动，而使吸附缓冲装置朝向移送对象物移动，吸附部被推压于移送对象物。此时，若对移送对象物作用的推压力过大，则有可能对移送对象物作用过剩的压力。然而，若对移送对象物作用的推压力过小，则有可能无法通过吸附部吸附移送对象物。

于是，例如在日本特开2018－85457号公报，公开了一种技术，将吸附部推压于移送对象物时，吸收作用于吸附部的推压反作用力，从而抑制推压力对移送对象物过剩地作用，且使作用于移送对象物的推压力为恒定。

日本特开2018－85457号公报的吸附缓冲装置构成为，可动轴与从动轴能一体地于轴向移动，可动轴与从动轴能一体地旋转。可动轴具有在从壳体突出的前端部吸附移送对象物的吸附部，并且具有以与吸附部连通的方式于轴向贯通的轴道。从动轴与可动轴连结，从而轴道的与从动轴连结的端部被封闭。然后，在吸附缓冲装置中，将吸附部推压于移送对象物，并且对轴道供给真空压力，从而在吸附部吸附移送对象物。

又，上述吸附缓冲装置具备环状的两个密封构件，用于将壳体的内周面与可动轴的外周面之间进行密封。在吸附部被推压于移送对象物的状态下对轴道供给真空压力时，以轴道成为真空状态的方式，通过各密封构件确保气密性。此种密封构件中的一个密封构件被配设在可动轴的邻接于从动轴的外周面，通过真空压力与大气压的压力差而沿着轴向抵接于设置在无壳体的周面的台阶面。该密封构件在从动轴沿着轴向于可动轴侧移动时，亦作为从动轴的可动轴侧的端部所抵接的缓冲构件而发挥功能。

然而，上述吸附缓冲装置中，在从动轴的连结于可动轴的端部抵接于密封构件的对向于从动轴的端部的状态下轴道为真空状态时，有从动轴的连结于可动轴的端部被吸附于密封构件的对向于从动轴的端部的情形。作为如此吸附的原因，在于因将可动轴设为能于轴向移动的关系，必须在可动轴的邻接于从动轴的外周面与密封构件的内周面之间设置少许的间隙，经由该间隙对从动轴与密封构件之间供给真空压力。而且，在将吸附部推压于移送对象物时，为了缓冲推压反作用力，需要使从动轴沿着轴向移动，但必须额外地施加用于将从动轴的连结于可动轴的端部拉离密封构件的对向于从动轴的端部的力，作用于移送对象物的推压力变大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种吸附缓冲装置，可藉由使适当的推压力作用于移送对象物，稳定移送对象物而进行吸附的吸附缓冲状装置。