[发明专利]一种单组份分子玻璃及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种单组份分子玻璃，其特征在于:结构式如下：

其中，R₄、R₁₀为甲基、乙基、叔丁基、异丁基、苯基、对甲酚基、间甲酚基或结构式二中的结构，R₁、R₂、R₃、R₅、R₆、R₇、R₈、R₉、R₁₁、R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₁₅、R₁₆、R₁₇为-H、-F、甲基、乙基、叔丁基、异丁基、羟基、羟基保护基或光产酸结构，其中必有至少一个基团为羟基保护基和光产酸结构单元。

2.根据权利要求1所述的单组份分子玻璃，其特征在于:所述光产酸结构单元结构如下：

其中，R₁₈结构式为

其中，R₁₉，R₂₀，R₂₁，R₂₂，R₂₃为-H、烷基、卤素、脂肪环或芳香烃。

3.根据权利要求1所述的单组份分子玻璃，其特征在于:所述羟基保护基结构如下：

-O-R₂₄或

其中，R₂₄为叔-丁氧羰基或烷氧基乙基；R₂₅为叔丁基、叔戊基、1-甲基环戊基、1-乙基环戊基、二甲基苄基、二甲基环丙基、金刚烷基、1-乙基环己基、降冰片类取代基、或倍半萜内酯。

4.一种单组份分子玻璃的制备方法，其特征在于：包括

将多羟基酚、催化剂、羟基保护基单体于容器中混合并充分反应，得到产物A；

将产物A、催化剂、溴乙基苯磺酸钠于容器中混合并充分反应，得到产物B；

将产物B、鎓盐溶于溶剂中，于室温下反应后得到产物，用水洗涤产物3-5次，得到目标产物C。

5.根据权利要求4所述的单组份分子玻璃的制备方法，其特征在于：所述多羟基酚通式为其中R1、R2、R3、R5、R6、R7、R8、R9、R11、R12中至少3个基团为羟基。

6.根据权利要求4所述的单组份分子玻璃的制备方法，其特征在于：所述催化剂为三乙胺、4-二甲氨基吡啶、碳酸钾、吡啶中的任意一种或者几种；催化剂用量为多羟基酚单体的1％-5％。

7.根据权利要求4所述的单组份分子玻璃的制备方法，其特征在于：所述羟基保护基单体为二碳酸酯二叔丁基酯、溴乙酸叔丁基酯、溴乙酸金刚烷基酯、乙烯基醚的任意一种或者几种。

8.根据权利要求4所述的单组份分子玻璃的制备方法，其特征在于：所述鎓盐为氯化三芳基硫鎓盐、溴化二芳基碘鎓盐中的任意一种。

9.根据权利要求4所述的单组份分子玻璃的制备方法，其特征在于：所述羟基保护基单体用量与多羟基酚单体中羟基的摩尔比为1:2-1:8；所述溴乙基苯磺酸钠单体用量与多羟基酚单体中羟基的摩尔比为1:2-1:8；所述溴乙基苯磺酸钠与鎓盐的摩尔比为1:1.5-1:5。

10.根据权利要求1-3中任意一项所述的单组份分子玻璃的应用，其特征在于：用于制备化学增幅型光刻胶，所述化学增幅型光刻胶包括以下组分：单组份分子玻璃、碱性添加剂和溶剂。