[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体

说明书

提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制大型化并且保护电路元件免受激光影响。振动器件具有：基座；电路元件，其配置于所述基座；振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承。另外，所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整的，所述支承基板具有：基部，其对所述振动元件进行支承；支承部，其对所述基部进行支承；梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述梁部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。

技术领域

本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。

背景技术

专利文献1记载的振动器件具有：箱状的基座；电路元件，其搭载于基座；角速度传感器元件，其搭载于电路元件；以及盖，其与基座接合，并且覆盖电路元件和角速度传感器元件。另外，角速度传感器元件具有：传感器元件主体；两个支承部，它们在两侧支承传感器元件主体；一对梁部，它们将一个支承部与传感器元件主体连接起来；以及一对梁部，它们将另一个支承部与传感器元件主体连接起来。并且，角速度传感器元件的一对支承部借助导电性的接合部件固定在电路元件的上表面。

专利文献1：日本特开2016-85179号公报

在这样的振动器件中，通常在将电路元件和角速度传感器元件搭载于基座的状态下向角速度传感器元件照射激光，将电极的一部分除去来调整质量，由此进行驱动频率的调整。但是，由于电路元件位于角速度传感器元件的正下方，因此透过了加速度传感器元件的激光有可能照射在电路元件上而损伤电路元件。另外，需要设置用于保护电路元件免受激光影响的保护膜等其他部件，成为导致装置结构复杂化、大型化、高成本化的主要原因。

发明内容

本应用例的振动器件的特征在于，具有：

基座；

电路元件，其配置于所述基座；

振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及

支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承，

所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整的，

所述支承基板具有：

基部，其对所述振动元件进行支承；

支承部，其对所述基部进行支承；

梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及

具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述梁部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。

本应用例的振动器件的特征在于，具有：

基座；

电路元件，其配置于所述基座；

振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及

支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承，

所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整，

所述支承基板具有：

基部，其对所述振动元件进行支承；

支承部，其对所述基部进行支承；

梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及

遮蔽部，其具有遮光性，配置于所述基部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。