[发明专利]衬底贴合装置

权利要求书

1.一种衬底贴合装置，具备：

第1吸台，吸附第1衬底；及

第2吸台，与所述第1衬底对向配置，吸附第2衬底；

所述第1吸台具有：

第1台座，具有朝向所述第2吸台的第1主面；

多个第1圆筒状部件，配置在所述第1主面，且在平面方向上排列，分别朝向从所述第1主面向所述第2吸台靠近的方向突出，能够吸附所述第1衬底；及

多个第1驱动机构，相互独立地驱动所述多个第1圆筒状部件；

所述衬底贴合装置更具备相互独立地控制所述多个第1圆筒状部件中的空间的压力状态的第1压力控制机构。

2.根据权利要求1所述的衬底贴合装置，其中

所述第2吸台具有：

第2台座，具有朝向所述第1吸台的第2主面；

多个第2圆筒状部件，在所述第2主面上沿着平面方向排列，分别朝向从所述第2主面向所述第1吸台靠近的方向突出，能够吸附所述第2衬底；及

多个第2驱动机构，相互独立地驱动所述多个第2圆筒状部件；

所述衬底贴合装置还具备相互独立地控制所述多个第2圆筒状部件中的空间的压力状态的第2压力控制机构。

3.根据权利要求1所述的衬底贴合装置，其中

所述第1压力控制机构具有：

多个第1管，与所述多个第1圆筒状部件中的空间连通；

多个第1压力产生装置，产生互不相同的压力状态；及

第1切换部，将所述多个第1管的每一个连接于所述多个第1压力产生装置的任一个。

4.根据权利要求2所述的衬底贴合装置，其中

所述第1压力控制机构具有：

多个第1管，与所述多个第1圆筒状部件中的空间连通；

多个第1压力产生装置，产生互不相同的压力状态；及

第1切换部，将所述多个第1管的每一个连接于所述多个第1压力产生装置的任一个；

所述第2压力控制机构具有：

多个第2管，与所述多个第2圆筒状部件中的空间连通；

多个第2压力产生装置，产生互不相同的压力状态；及

第2切换部，将所述多个第2管的每一个连接于所述多个第2压力产生装置的任一个。

5.根据权利要求3所述的衬底贴合装置，其中

所述多个第1压力产生装置包含第1减压装置、第1大气开放装置、及第1加压装置。

6.根据权利要求4所述的衬底贴合装置，其中

所述多个第1压力产生装置包含第1减压装置、第1大气开放装置、及第1加压装置，

所述多个第2压力产生装置包含第2减压装置、第2大气开放装置、及第2加压装置。

7.根据权利要求1所述的衬底贴合装置，其还具备控制器，该控制器根据所述第1衬底的应变校正量，在利用所述多个第1圆筒状部件吸附着所述第1衬底的状态下，控制所述多个第1驱动机构与所述第1压力控制机构中的至少一个，校正所述第1衬底的应变。

8.根据权利要求7所述的衬底贴合装置，其中

所述控制器根据所述第1衬底的应变校正量，控制所述第1圆筒状部件的平面方向的移动量。

9.根据权利要求7所述的衬底贴合装置，其中

所述控制器根据所述第1衬底的应变校正量，控制所述第1圆筒状部件的平面方向的移动量，并经由所述第1压力控制机构，控制所述第1圆筒状部件中的空间的压力状态。

10.根据权利要求7所述的衬底贴合装置，其中

所述控制器根据所述第1衬底的应变校正量，控制所述第1圆筒状部件的与所述第1主面大致垂直的方向的移动量。

11.根据权利要求7所述的衬底贴合装置，其中

所述控制器根据所述第1衬底的应变校正量，经由所述第1压力控制机构，控制所述第1圆筒状部件中的空间的压力状态。