[发明专利]一种单晶炉结构及其使用方法有效
申请号: | 202010147888.7 | 申请日: | 2020-03-05 |
公开(公告)号: | CN111254499B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 李朝红;李茂欣;沈伟华 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 谢绪宁;薛赟 |
地址: | 201600 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 结构 及其 使用方法 | ||
1.一种单晶炉结构,包括上炉膛(1)、下炉膛(2)、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器,其特征在于:还包括冷却装置(3),所述冷却装置(3)包括开设于下炉膛(2)侧壁内的冷却水腔(31)、连通于冷却水腔(31)的进水管(32)以及连通于冷却水腔(31)的出水管(33);所述进水管(32)远离冷却水腔(31)的一端安装有冷却水泵(34),所述冷却水泵(34)的进水口连通有冷却水箱(35),所述冷却水箱(35)的一侧连通有补水管(36);所述出水管(33)远离冷却水腔(31)的一端连通有降温箱(37),所述降温箱(37)安装于冷却水箱(35)的顶部,所述降温箱(37)的底部通过排水管(38)与冷却水箱(35)连通,所述排水管(38)上安装有电动阀(39);所述降温箱(37)内安装有降温机构(4);
所述降温机构(4)包括沿竖向滑移连接于降温箱(37)内的移动杆(41)、安装于降温箱(37)的顶部用于驱动移动杆(41)往复移动的驱动组件(46)、固接于降温箱(37)内壁的支撑板(42)以及竖直转动连接于支撑板(42)上的转动管(43);所述移动杆(41)和转动管(43)之间设置有用于驱动转动管(43)转动的配合组件(44);所述转动管(43)的外侧壁沿竖向依次套设固定有多个搅拌桨(45);
所述驱动组件(46)包括竖直安装于降温箱(37)顶部的驱动电机(461)以及竖直转动连接于降温箱(37)顶部的往复丝杠(462);所述驱动电机(461)的输出轴竖直向下与往复丝杠(462)的顶部固定连接;所述移动杆(41)的顶部固接有连接块(463),所述连接块(463)螺纹连接于往复丝杠(462),所述移动杆(41)的顶部固接有竖杆(464),所述竖杆(464)贯穿降温箱(37)的顶壁设置,所述竖杆(464)沿竖向滑移连接于降温箱(37)的顶壁;
所述配合组件(44)包括固接于移动杆(41)外侧壁的多个螺旋块(441)以及开设于转动管(43)内周面的多个螺旋槽(442);所述螺旋块(441)与所述螺旋槽(442)一一对应配合;
所述支撑板(42)的两端分别转动连接有第一竖轴(421),每个所述第一竖轴(421)的外侧壁沿竖向依次套设固定有多个第一扇叶(422),所述支撑板(42)上安装有用于驱动两个第一竖轴(421)转动的传动组件(5);
所述传动组件(5)包括分别转动连接于支撑板(42)顶部的两个第一水平轴(51)以及套设固定于转动管(43)外侧壁的第一锥齿轮(52);每个所述第一水平轴(51)靠近转动管(43)的一端固接有第二锥齿轮(53),两个所述第二锥齿轮(53)均与第一锥齿轮(52)相啮合;每个所述第一水平轴(51)远离转动管(43)的一端设置有蜗杆(54),每个所述第一竖轴(421)上套设固定有蜗轮(55),两个所述蜗杆(54)分别与两个蜗轮(55)相互啮合;
所述往复丝杠(462)的底部安装有第一降温组件(6),所述第一降温组件(6)包括固接于往复丝杠(462)底部的第二竖轴(61)以及套设固定于第二竖轴(61)外侧壁的第二扇叶(62);
所述降温箱(37)的两侧分别安装有第二降温组件(7),两组所述第二降温组件(7)分别与两个第一水平轴(51)对应设置,每组所述第二降温组件(7)包括固接于降温箱(37)侧壁内的多个散热片(71),每个所述散热片(71)的两端分别凸出降温箱(37)的外侧壁和内侧壁设置,每个所述第一水平轴(51)远离转动管(43)的一端凸出降温箱(37)的外侧壁设置且固接有第三扇叶(72),所述第三扇叶(72)对应所述散热片(71)设置。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉结构,其特征在于:所述排水管(38)的底部连通有水平管(381),所述水平管(381)的底部沿其轴向依次连通有多个竖管(382),每个所述竖管(382)的下方在冷却水箱(35)的顶部安装有第三降温组件(8),所述第三降温组件(8)包括转动连接于冷却水箱(35)顶部的第二水平轴(81)以及套设固定于第二水平轴(81)外侧壁的水轮(82);所述竖管(382)的底部对应水轮(82)设置。
3.一种单晶炉结构的使用方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一、对下炉膛(2)进行降温:启动冷却水泵(34),冷却水泵(34)将冷却水箱(35)中的冷却水输送到冷却水腔(31)中,从而便可对下炉膛(2)进行降温;
步骤二、对冷却水进行降温:冷却水腔(31)中的冷却水经过出水管(33)后进入降温箱(37)内,然后启动驱动电机(461),驱动电机(461)的输出轴驱动往复丝杠(462)转动,往复丝杠(462)转动驱动连接块(463)沿竖向往复移动,连接块(463)沿竖向往复移动带动移动杆(41)沿竖向往复移动,此时移动杆(41)在螺旋块(441)和螺旋槽(442)的作用下驱动转动管(43)往复转动,转动管(43)往复转动带动搅拌桨(45)往复转动,从而能够加快冷却水的冷却速度;再者,转动管(43)转动带动第一锥齿轮(52)转动,第一锥齿轮(52)转动驱动第二锥齿轮(53)转动,第二锥齿轮(53)转动驱动第一水平轴(51)转动,第一水平轴(51)转动驱动蜗杆(54)转动,蜗杆(54)转动驱动蜗轮(55)转动,蜗轮(55)转动驱动第一竖轴(421)转动,第一竖轴(421)转动驱动第一扇叶(422)转动,从而能够进一步加快冷却水的冷却速度;
步骤三、对转动管(43)进行降温:往复丝杠(462)转动驱动第二竖轴(61)转动,第二竖轴(61)转动驱动第二扇叶(62)转动,第二扇叶(62)转动能够加快转动管(43)的降温速度;
步骤四、对降温箱(37)进行降温:第一水平轴(51)转动带动第三扇叶(72)转动,从而能够加快散热片(71)对降温箱(37)侧壁的降温速度。
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