[发明专利]一种单晶炉结构及其使用方法有效
申请号: | 202010147888.7 | 申请日: | 2020-03-05 |
公开(公告)号: | CN111254499B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 李朝红;李茂欣;沈伟华 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 谢绪宁;薛赟 |
地址: | 201600 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 结构 及其 使用方法 | ||
本发明涉及一种单晶炉结构及其使用方法,其包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器,还包括冷却装置,所述冷却装置包括开设于下炉膛侧壁内的冷却水腔、连通于冷却水腔的进水管以及连通于冷却水腔的出水管;所述进水管远离冷却水腔的一端安装有冷却水泵,所述冷却水泵的进水口连通有冷却水箱,所述冷却水箱的一侧连通有补水管;所述出水管远离冷却水腔的一端连通有降温箱,所述降温箱安装于冷却水箱的顶部,所述降温箱的底部通过排水管与冷却水箱连通,所述排水管上安装有电动阀;所述降温箱内安装有降温机构。本发明便于对下炉膛进行降温,从而能够延长下炉膛的使用寿命。
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域,尤其是涉及一种单晶炉结构及其使用方法。
背景技术
世界能源危机促进了光伏市场的发展,晶体硅太阳能电池是光伏行业的主导产品。随着世界各国对太阳能光伏产业的进一步重视,特别是发达国家制定了一系列的扶持政策,鼓励开发利用太阳能,另外,随着硅太阳能电池应用面的不断扩大,太阳能电池的需求量越来越大,硅单晶材料的需求量也就越来越大。
现有技术可参考授权公告号为CN205099782U的中国实用新型专利,其公开了一种单晶炉,包括上炉膛、下炉膛,所述上炉膛顶部设置有籽晶旋转提升机构,下炉膛内设置有保温筒,保温筒内设置有石墨坩埚,石墨坩埚内设有石英坩埚,石墨坩埚外侧设置有加热器,石墨坩埚底部设置有坩埚旋转顶升机构,所述石墨坩埚与坩埚旋转顶升机构设置有圆形的石墨托板,石墨托板的外表面设置有环形挡板,环形挡板的上表面设置有溢流毯,溢流毯的上表面安装有溢流丝,溢流丝与报警装置相连。
上述中的现有技术方案存在以下缺陷:上述设备不便对下炉膛进行冷却,而单晶炉的炉体材料一般是不锈钢材料,如果炉体长期在高温环境下工作,会由于不锈钢材料的氧化导致炉体表面发黄并生锈腐蚀,大大缩短炉体寿命,影响企业经济效益。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的一目的是提供一种单晶炉结构,便于对下炉膛进行降温,从而能够延长下炉膛的使用寿命。
本发明的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种单晶炉结构,包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器,还包括冷却装置,所述冷却装置包括开设于下炉膛侧壁内的冷却水腔、连通于冷却水腔的进水管以及连通于冷却水腔的出水管;所述进水管远离冷却水腔的一端安装有冷却水泵,所述冷却水泵的进水口连通有冷却水箱,所述冷却水箱的一侧连通有补水管;所述出水管远离冷却水腔的一端连通有降温箱,所述降温箱安装于冷却水箱的顶部,所述降温箱的底部通过排水管与冷却水箱连通,所述排水管上安装有电动阀;所述降温箱内安装有降温机构。
通过采用上述技术方案,启动冷却水泵,冷却水泵将冷却水箱中的冷却水输送到冷却水腔中,从而便可对下炉膛进行降温;然后冷却水腔中的冷却水经过出水管流入降温箱内,通过降温机构对降温箱内的水进行降温,当降温箱内的冷却水的温度降下后,打开电动阀,此时便可对冷却水箱进行供水;综上所述,通过设置冷却装置,便于对下炉膛进行降温,从而能够延长下炉膛的使用寿命。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为:所述降温机构包括沿竖向滑移连接于降温箱内的移动杆、安装于降温箱的顶部用于驱动移动杆往复移动的驱动组件、固接于降温箱内壁的支撑板以及竖直转动连接于支撑板上的转动管;所述移动杆和转动管之间设置有用于驱动转动管转动的配合组件;所述转动管的外侧壁沿竖向依次套设固定有多个搅拌桨。
通过采用上述技术方案,通过驱动组件驱动移动杆往复移动,此时移动杆在配合组件的作用下驱动转动管往复转动,转动管往复转动带动搅拌桨往复转动,从而能够加快冷却水的冷却速度;通过设置降温机构,便于对降温箱内的冷却水进行降温。
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