[发明专利]一种旋转式冲洗烘干装置

权利要求书

1.一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于，包括机座(1)、清洗架(2)、液箱(3)、支撑壳体(4)、清洗机构，所述支撑壳体(4)、清洗架(2)均固装于机座(1)端面，清洗架(2)内侧装设有清洗机构，清洗架(2)顶部固装有液箱(3)；所述支撑壳体(4)置于清洗架(2)内侧，支撑壳体(4)两侧均连接有固定基座(5)，支撑壳体(4)顶部安装有固定架(6)；

所述清洗机构包括驱动组件(7)、清洗刷(8)、箱体(9)与冲洗架(10)，箱体(9)固装于清洗架(2)顶部两侧，箱体(9)内设有转动盘(11)；所述驱动组件(7)具有电机(71)、转动杆(72)与传动杆(73)，电机(71)固装在支撑壳体(4)顶端，电机(71)输出端连有转动杆(72)，且转动杆(72)中部设有第一锥齿轮(74)，转动杆(72)顶部伸入液箱(3)内并连有搅拌齿(75)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述传动杆(73)设有两根且其端部分别设有与第一锥齿轮(75)配合的第二锥齿轮(76)，传动杆(73)端部伸进箱体(9)内并连接转动盘(11)。

3.根据权利要求1所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述液箱(3)内充入有清洗液，液箱(3)两侧端部均连接有输液管(31)，输液管(31)伸进清洗架(2)内侧并连接有冲洗架(10)，冲洗架(10)上设有靠近固定基座(5)的冲洗头。

4.根据权利要求1所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述固定基座(5)用于放置晶圆且其上设有用于固定晶圆的吸附槽，固定基座(5)上方设有与冲洗架(10)相对的烘干架(12)。

5.根据权利要求1或4所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述支撑壳体(4)具有空腔，支撑壳体(4)腔内安装有热风烘干箱(41)，且热风烘干箱(41)输出口连接有输风管(42)，输风管(42)连接烘干架(12)，烘干架(12)靠近固定基座(5)的一侧开设有出风孔。

6.根据权利要求2所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述转动盘(11)上通过连接轴连有支板(13)，支板(13)伸出箱体(9)外并延伸至固定基座(5)正上方，支板(13)底端连有清洗刷(8)，且清洗刷(8)与晶圆表面接触。

7.根据权利要求3所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述固定基座(5)下部设有集液槽(14)，集液槽(14)用于对冲洗架(10)输出的液体进行收集。

8.根据权利要求2所述的一种旋转式冲洗烘干装置，其特征在于：所述输液管(31)上设有阀门，清洗架(2)外设有与电机(71)连接的控制箱。