[发明专利]一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法

权利要求书

1.一种LIGA技术的埋丝光刻胶片制备方法，其步骤包括：

1)选取两片PMMA光刻胶片和一有机丝；

2)将该有机丝放在两片PMMA光刻胶片之间；

3)将两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝，得到埋丝光刻胶片。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述有机丝的直径为100～800微米；根据所述有机丝在埋丝光刻胶片的位置确定所选所述PMMA光刻胶片的厚度。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述PMMA光刻胶片的厚度范围为0.2～2毫米。

4.如权利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，所述有机丝为有机鱼线。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝的方法为：

31)将步骤2)处理后的有机丝和PMMA光刻胶片水平放置在加热设备内；

32)在该有机丝两端施加拉力或重物将该有机丝拉紧并固定在设定位置；

33)对所述PMMA光刻胶片施加压力，使得两片所述PMMA光刻胶片相对的两面接触紧密；

34)开启所述加热设备进行加热，使两片所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，对所述PMMA光刻胶片施加压力的方法为：在位于上面的PMMA光刻胶片上放上玻璃盖板，并在玻璃盖板上放置重物或使用压力机，压强为0.5～10公斤/厘米²。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述加热设备为烘箱；将烘箱升温，温度在所述PMMA光刻胶片的软化点附近，温度范围110℃～180℃，加热时间范围8～12小时。

8.一种埋丝光刻胶片，其特征在于，包括两片PMMA光刻胶片和一有机丝，两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝。

9.如权利要求8所述的埋丝光刻胶片，其特征在于，通过将该有机丝置于两所述PMMA光刻胶片相对的两面 之间，然后对两所述PMMA光刻胶片加压加热，使两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝。

10.如权利要求8或9所述的埋丝光刻胶片，其特征在于，所述有机丝的直径为100～800微米；根据所述有机丝在埋丝光刻胶片的位置确定所选所述PMMA光刻胶片的厚度。