[发明专利]光学处理设备

权利要求书

1.一种光学处理设备，其中，所述光学处理设备包括：

腔室，平台设置在所述腔室中以保持基底；

支撑件，位于所述腔室下方；

腔室窗口，连接到所述支撑件并允许光穿过所述腔室窗口；以及

缓冲部，连接到所述腔室的下部并连接到所述腔室窗口，

其中，在所述缓冲部中限定的通路与所述腔室窗口和第一开口重叠，所述第一开口限定在所述腔室的所述下部中。

2.根据权利要求1所述的光学处理设备，其中，

所述支撑件包括位于所述腔室下方的第一支撑件，并且

所述腔室窗口连接到所述第一支撑件。

3.根据权利要求2所述的光学处理设备，其中，所述腔室窗口包括：

窗口，与所述第一开口重叠；以及

窗口框架，连接到所述窗口的边缘。

4.根据权利要求3所述的光学处理设备，其中，所述缓冲部包括：

第一连接件，设置在所述窗口框架上并耦接到所述窗口框架，所述第一连接件限定与所述窗口重叠的第一通路；

第二连接件，耦接到所述腔室的所述下部，所述第二连接件限定与所述第一开口重叠的第二通路；以及

波纹管，在所述第一连接件和所述第二连接件之间，所述波纹管限定与所述第一通路和所述第二通路重叠的第三通路。

5.根据权利要求4所述的光学处理设备，其中，所述窗口框架设置在第二开口中并围绕所述窗口，所述第二开口限定在所述第一支撑件中。

6.根据权利要求4所述的光学处理设备，其中，所述窗口的所述边缘设置在所述第一连接件和所述窗口框架之间并插入到插入槽中，所述插入槽限定在所述第一连接件的内侧表面上。

7.根据权利要求4所述的光学处理设备，其中，

第二开口限定在所述第一支撑件中，

具有环形形状的所述窗口框架设置在所述第一支撑件的一部分上，所述第一支撑件的所述一部分与所述第二开口相邻，并且

所述窗口的所述边缘设置在所述窗口框架和所述第一支撑件之间并插入到插入槽中，所述插入槽限定在所述窗口框架的内侧表面上。

8.根据权利要求4所述的光学处理设备，其中，所述波纹管是垂直地可伸缩的。

9.根据权利要求2所述的光学处理设备，其中，所述支撑件还包括：

第二支撑件，位于所述第一支撑件下方；

多个第一支撑柱，在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间；以及

多个第二支撑柱，位于所述第二支撑件下方，

其中，所述腔室窗口设置在所述第一支撑柱之间，并且

其中，所述第二支撑柱在第一方向、与所述第一方向相交的第二方向以及与由所述第一方向和所述第二方向限定的假想平面垂直的第三方向上具有柔性。

10.根据权利要求9所述的光学处理设备，其中，所述光学处理设备还包括：激光单元和相机单元，设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间，其中，

所述腔室窗口设置为多个，

所述缓冲部设置为多个，并且所述多个缓冲部与所述多个腔室窗口对应地重叠，并且

所述激光单元和所述相机单元中的每一个与所述多个腔室窗口中的对应的一个腔室窗口重叠。