[发明专利]一种界面吸附式Micro LED排列机器人

权利要求书

1.一种界面吸附式Micro LED排列机器人，其特征在于：包括底板（1）、通过多个支撑柱连接在底板（1）上的呈U形状的顶板（2）、具有铁磁性的吸附膜卷（3）、界面吸附排列槽（4）、油层去除槽（5）、水层去除槽（6）、清洗槽（7）、烘干装置（8）以及电容式缺陷检测装置（9），所述吸附膜卷（3）设于底板（1）的一端、并与顶板（2）的开口对应，所述吸附膜卷（3）的吸附膜上根据Micro LED排列间距开设有若干个贯穿式结构的容置井（31），所述界面吸附排列槽（4）、油层去除槽（5）、水层去除槽（6）、清洗槽（7）沿底板（1）的长度方向依次设于底板（1）上、并位于顶板（2）的开口下方，且所述界面吸附排列槽（4）靠近吸附膜卷（3），所述烘干装置（8）、电容式缺陷检测装置（9）依次设于顶板（2）远离吸附膜卷（3）的一端上，所述顶板（2）的两端之间对应设有多个用于传送吸附膜的第一辊轴单元（10）；

所述界面吸附排列槽（4）包括顶部开口的排列液槽（41）、设于排列液槽（41）底部的气囊（42）、两个对称设于气囊（42）两侧的辊轴磁化单元（43）以及两个对称设于气囊（42）两侧的第二辊轴单元（44），所述排列液槽（41）固定在底板（1）上，所述排列液槽（41）的底部灌装有去离子水，所述排列液槽（41）的顶部灌装有Micro LED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液，所述去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面，两个第二辊轴单元（44）位于两个辊轴磁化单元（43）之间，且其高度大于两个辊轴磁化单元（43）的高度；

所述油层去除槽（5）、水层去除槽（6）、清洗槽（7）均包括顶部开口的容液槽（100）以及两个对称设于容液槽（100）内的第三辊轴单元（101）；

所述烘干装置（8）用于对吸附膜以及排列在吸附膜上的Micro LED进行烘干处理；

所述电容式缺陷检测装置（9）用于检测吸附膜上Micro LED的排列良率。

2.根据权利要求1所述的一种界面吸附式Micro LED排列机器人，其特征在于，所述容置井（31）的底部设有台阶结构。

3.根据权利要求1所述的一种界面吸附式Micro LED排列机器人，其特征在于，所述烘干装置（8）包括烘干罩（81）、两个分别设于烘干罩（81）内顶面和内底面上的红外线发生器（82），所述烘干罩（81）设于顶板（2）的底端上，所述红外线发生器（82）的表面均布有氮气喷嘴（83）。

4.根据权利要求1所述的一种界面吸附式Micro LED排列机器人，其特征在于，所述电容式缺陷检测装置（9）包括缺陷检测本体（91）、设于缺陷检测本体（91）内顶面的正极板（92）以及设于缺陷检测本体（91）内底面的负极板（93），所述缺陷检测本体（91）设于顶板（2）的底端上。