[发明专利]一种界面吸附式Micro LED排列机器人

说明书

本发明公开了一种界面吸附式Micro LED排列机器人，包括底板、顶板、具有铁磁性的吸附膜卷、界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽、烘干装置及电容式缺陷检测装置，吸附膜卷的吸附膜上开设有容置井，顶板设有第一辊轴单元；界面吸附排列槽包括顶部开口的排列液槽、气囊、两个辊轴磁化单元及两个第二辊轴单元，排列液槽的底部灌装有去离子水，排列液槽的顶部灌装有Micro LED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液，去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面；油层去除槽、水层去除槽、清洗槽均包括顶部开口的容液槽以及两个对称设于容液槽内的第三辊轴单元；本发明能够实现Micro LED连续式、定向排列在吸附膜上，效率大大提高，同时能确保Micro LED的排列良率。

技术领域

本发明涉及一种界面吸附式Micro LED排列机器人。

背景技术

在对Micro LED(微型发光二极管)单体进行转移之前，需要对其进行定向均匀化排列，现有的排列方式均为间断式排列，效率低下，也无法保证排列良率。

发明内容

本发明的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种界面吸附式Micro LED排列机器人。

为实现上述目的，本发明的具体方案如下：

一种界面吸附式Micro LED排列机器人，包括底板、通过多个支撑柱连接在底板上的呈U形状的顶板、具有铁磁性的吸附膜卷、界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽、烘干装置以及电容式缺陷检测装置，所述吸附膜卷设于底板的一端、并与顶板的开口对应，所述吸附膜卷的吸附膜上根据Micro LED排列间距开设有若干个贯穿式结构的容置井，所述界面吸附排列槽、油层去除槽、水层去除槽、清洗槽沿底板的长度方向依次设于底板上、并位于顶板的开口下方，且所述界面吸附排列槽靠近吸附膜卷，所述烘干装置、电容式缺陷检测装置依次设于顶板远离吸附膜卷的一端上，所述顶板的两端之间对应设有多个用于传送吸附膜的第一辊轴单元；

所述界面吸附排列槽包括顶部开口的排列液槽、设于排列液槽底部的气囊、两个对称设于气囊两侧的辊轴磁化单元以及两个对称设于气囊两侧的第二辊轴单元，所述排列液槽固定在底板上，所述排列液槽的底部灌装有去离子水，所述排列液槽的顶部灌装有Micro LED与油性溶剂按配比混合成的悬浊液，所述去离子水与悬浊液之间形成有稳定的油水界面，两个第二辊轴单元位于两个辊轴磁化单元之间，且其高度大于两个辊轴磁化单元的高度；

所述油层去除槽、水层去除槽、清洗槽均包括顶部开口的容液槽以及两个对称设于容液槽内的第三辊轴单元；

所述烘干装置用于对吸附膜以及排列在吸附膜上的Micro LED进行烘干处理；

所述电容式缺陷检测装置用于检测吸附膜上Micro LED的排列良率。

其中，所述容置井的底部设有台阶结构。

其中，所述烘干装置包括烘干罩、两个分别设于烘干罩内顶面和内底面上的红外线发生器，所述烘干罩设于顶板的底端上，所述红外线发生器的表面均布有氮气喷嘴。

其中，所述电容式缺陷检测装置包括缺陷检测本体、设于缺陷检测本体内顶面的正极板以及设于缺陷检测本体内地面的负极板，所述缺陷检测本体设于顶板的底端上。

本发明的有益效果为：与现有技术相比，本发明通过界面吸附排列槽内形成的油水界面并利用气囊来灵活改变油水界面的高度，实现Micro LED连续式、定向排列在吸附膜上，效率大大提高，然后利用油层去除槽、水层去除槽、清洗槽去除Micro LED表面的亲水性沉积层和亲油性沉积层，再利用烘干装置进行烘干处理以及利用电容式缺陷检测装置对吸附膜上Micro LED的排列良率进行检测，从而能够确保Micro LED的排列良率。

附图说明

图1是Micro LED的结构示意图；

图2是本发明的结构示意图；