[发明专利]一种光响应器件的测试装置及系统

权利要求书

1.一种光响应器件的测试装置，其特征在于，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；

所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；

所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；

所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。

2.根据权利要求1所述的光响应器件的测试装置，其特征在于，所述测试平台包括信号采集系统、位移平台和夹具，所述夹具与所述信号采集系统连接，所述夹具和所述信号采集系统均设置在所述位移平台上，所述位移平台能够调整所述瞬态光在所述待测试光响应器件上的位置，所述夹具能够实现对所述待测试光响应器件的测试，所述信号采集系统能够采集所述待测试光响应器件的测试信号，并将所述测试信号发送至所述上位机。

3.根据权利要求2所述的光响应器件的测试装置，其特征在于，所述测试平台还包括连接线路，所述信号采集系统与所述夹具之间、所述待测试光响应器件与所述夹具之间以及所述待测试光响应器件与所述信号采集系统之间均通过所述连接线路连接。

4.根据权利要求3所述的光响应器件的测试装置，其特征在于，所述连接线路包括同轴线缆。

5.根据权利要求1所述的光响应器件的测试装置，其特征在于，所述准直光路包括沿光线出射方向依次设置的光阑、第一凸透镜和第二凸透镜。

6.一种光响应器件的测试系统，其特征在于，包括：上位机和权利要求1至5中任意一项所述的光响应器件的测试装置，所述上位机与所述光响应器件的测试装置中的测试平台通信连接。