[发明专利]一种光响应器件的测试装置及系统

说明书

本发明涉及光响应器件的测试技术领域，具体公开了一种光响应器件的测试装置，其中，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。本发明还公开了一种光响应器件的测试装置及系统。本发明提供的光响应器件的测试装置具有成本低且易于使用的优势。

技术领域

本发明涉及光响应器件的测试技术领域，尤其涉及一种光响应器件的测试装置及包括该光响应器件的测试装置的光响应器件的测试系统。

背景技术

通常光响应器件如光伏电池的内部动态特性的测量难以检测，尤其是体相的杂质缺陷、复合中心浓度等特征参量表征困难。目前常用的测试方法是使用化学腐蚀的方法由表面向内部腐蚀，通过腐蚀离子量或质量变化情况来计算缺陷杂质与复合中心浓度的情况，是一种不能持续、重复测试的方法；另一种方式是利用光学测试进行非接触测量，这种方法需要利用飞秒级别的脉冲激光，光强能量大、设备造价昂贵，不适合大规模推广应用。

因此，如何提供一种能够成本低、易使用的测量方式成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明提供了一种光响应器件的测试装置及包括该光响应器件的测试装置的光响应器件的测试系统，解决相关技术中存在的测量方式成本高且不方便使用的问题。

作为本发明的第一个方面，提供一种光响应器件的测试装置，其中，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；

所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；

所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；

所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。

进一步地，所述测试平台包括信号采集系统、位移平台和夹具，所述夹具与所述信号采集系统连接，所述夹具和所述信号采集系统均设置在所述位移平台上，所述位移平台能够调整所述瞬态光在所述待测试光响应器件上的位置，所述夹具能够实现对所述待测试光响应器件的测试，所述信号采集系统能够采集所述待测试光响应器件的测试信号，并将所述测试信号发送至所述上位机。

进一步地，所述测试平台还包括连接线路，所述信号采集系统与所述夹具之间、所述待测试光响应器件与所述夹具之间以及所述待测试光响应器件与所述信号采集系统之间均通过所述连接线路连接。

进一步地，所述连接线路包括同轴线缆。

进一步地，所述准直光路包括沿光线出射方向依次设置的光阑、第一凸透镜和第二凸透镜。

作为本发明的另一个方面，提供一种光响应器件的测试系统，其中，包括：上位机和前文所述的光响应器件的测试装置，所述上位机与所述光响应器件的测试装置中的测试平台通信连接。

本发明提供的光响应器件的测试装置，利用光电转换效应的过程实现了光电子的检测，利用单位时间内电荷的变化量计算光响应器件内部的本征载流子浓度，通过改变光响应器件在电路中的瞬态电流计算器件内部的复合速率，本发明简化了测试过程，同时重复多次进行面扫描测量，具有低成本、易使用、响应快、准确等特点。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：