[发明专利]一种基于多维纳米材料的封装膏体及其制备方法有效
申请号: | 202010153063.6 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN111354514B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 唐宏浩;张卫红;黄显机;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00;H01B1/02;B23K37/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 多维 纳米 材料 封装 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种基于纳米材料的封装膏体及其制备方法,所述纳米材料包括至少两种不同维度的纳米金属,包括以下制备步骤:第一步:在第一纳米金属线,和/或第一纳米金属片表面刻蚀孔洞,形成第二纳米金属线,和/或第二纳米金属片,所述孔洞直径为10nm~40nm;第二步:采用第一溶剂清洗第一纳米金属颗粒、第二纳米金属线,和/或第二纳米金属片,得到第二纳米金属颗粒、第三纳米金属线,和/或第三纳米金属片;第三步:混合第二纳米金属颗粒、第三纳米金属线,和/或第三纳米金属片得到第一混合物,将所述第一混合物与第二溶剂混合得到第二混合物;第四步:浓缩处理第二混合物得到封装膏体。该方法,工艺简单执行条件温和,适用于大批量低成本生产。
技术领域
本发明涉及半导体互联互连材料技术领域,尤其涉及一种基于多维纳米材料的封装膏体及其制备方法。
背景技术
在柔性电子封装等新兴领域中,无铅焊料的需求不断增长,传统的Sn基无铅焊料的焊接温度通常超过200°C,不利于柔性封装时在热敏有机基板(例如聚合物和纸张)上进行烧结互连。
低温封装互连工艺能够有效解决上述技术问题,某些解决方式中可通过纳米金属材料在纳米烧结上的优势来实现。在纳米烧结过程中,依靠来自高表面能的驱动力,纳米材料通过扩散烧结在一起,形成封装膏体。
在研发过程中发现,相关技术中,无论采用金、银、铜或其它哪种金属材料制备的封装膏体,粘结强度和抗断裂强度一直不能满足使用需求,本领域技术技术人员始终无法找到有效解决方案。
发明内容
针对上述现有技术中所存在的技术问题,本发明提供了一种基于多维纳米材料的封装膏体的制备方法,其特征在于:所述纳米材料包括至少两种不同维度的纳米金属,具体包括以下步骤:
第一步:在第一纳米金属线,和/或,第一纳米金属片表面刻蚀孔洞,形成第二纳米金属线,和/或,第二纳米金属片,所述孔洞直径为10nm~40 nm;
孔洞的存在增加了金属纳米片的比表面积和粗糙度, 10nm~40 nm的孔洞存在有利于提高纳米金属颗粒、金属纳米线与金属纳米片共混时之间的互相结合力和摩擦力,从而提升膏体的致密性,有利于于后续的烧结互连和粘结强度提高。
第二步:采用第一溶剂清洗第一纳米金属颗粒、第二纳米金属线,和/或,第二纳米金属片,得到第二纳米金属颗粒、第三纳米金属线,和/或,第三纳米金属片;
清洗过程为第一溶剂浸泡第一纳米金属颗粒、第二纳米金属线,和/或第二纳米金属片;然后对浸泡后的纳米材料进行离心、分离、洗涤、干燥处理,即得第二纳米金属颗粒、第三纳米金属线,和/或第三纳米金属片;
第三步:混合第二纳米金属颗粒、第三纳米金属线,和/或第三纳米金属片得到第一混合物,将所述第一混合物与第二溶剂混合得到第二混合物;
第四步:浓缩处理第二混合物得到封装膏体。
具体的为对所述第二混合物依次进行超声、振荡、分散、低压旋蒸浓缩得到封装膏体,超声处理20min-50min、振荡处理1h-2h。
优选的,第一纳米金属颗粒、第二纳米金属线以及第二纳米金属片的质量比为8-10:3-5:4。
纳米金属颗粒成分既可以是单一金属的颗粒、又可以是两种或者多种金属组成的核壳结构的颗粒,其中核部分金属构成金、银、铜中的一种,壳部分金属构成为锡、铋、铱、钛中的一种或者多种。
优选的,所述多维纳米材料的封装膏体采用瞬态液相扩散法焊接。
优选的,所述第二纳米金属线长度为30μm~50μm,直径为40 nm,所述第二纳米金属片长度为50μm~250μm,厚度为10nm~20 nm,所述第一纳米金属颗粒尺寸为10 nm~ 500μm。
优选的,纳米金属采用金、银、铜中的一种或多种。
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