[发明专利]柔性显示基板剥离装置及柔性显示基板剥离方法在审
| 申请号： | 202010157802.9 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111341716A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张莉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;G09F9/30 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 显示 剥离 装置 方法 | ||
1.一种柔性显示基板剥离装置，剥离吸附在硬质基板上的所述柔性显示基板，其特征在于，包括：
承载基台，一侧表面开设有多个通孔；
真空模组，设置于所述承载基台下方，与多个所述通孔连接；
其中，所述承载基台的一侧表面为曲面，使所述柔性显示基板沿着所述曲面从所述承载基台上剥离。
2.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，还包括激光发生器，设置于所述承载基台的侧面。
3.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，还包括软性吸附板，所述软性吸附板设置于所述承载基台的上方。
4.根据权利要求3所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，还包括滑轨，所述软性吸附板设置于所述滑轨上。
5.根据权利要求3所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述软性吸附板的材料为聚酰亚胺、涤纶树脂、聚碳酸酯或三醋酸纤维中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述承载基台一侧表面的曲率大于100mm。
7.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述承载基台的曲面为向上凸起的圆弧面。
8.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述承载基板的曲面为向下凹陷的圆弧面。
9.一种柔性显示基板的剥离方法，其特征在于，包括：
用软性吸附板吸附在所述待剥离基板一侧表面；
将所述待剥离基板放置于具有曲面的承载基台上；
启动所述承载基台下方的真空模组，所述承载基台吸附所述待剥离基板的另一侧表面；
对软性吸附板施加拉力，剥离得到所述柔性显示基板。
10.根据权利要求9所述柔性显示基板的剥离方法，其特征在于，还包括将待剥离基板放置于激光发生器上方进行照射，所述待剥离基板包括硬质基板和柔性显示基板，所述激光发生器从所述硬质基板一侧照射。
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