[发明专利]柔性显示基板剥离装置及柔性显示基板剥离方法在审
申请号: | 202010157802.9 | 申请日: | 2020-03-09 |
公开(公告)号: | CN111341716A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 张莉 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;G09F9/30 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 剥离 装置 方法 | ||
本发明公开了一种柔性显示基板剥离装置及柔性显示基板剥离方法,该柔性显示基板剥离装置包括:承载基台,一侧表面开设有多个通孔;真空模组,设置于所述承载基台下方,与多个所述通孔连接;其中,所述承载基台的一侧表面为曲面,使所述柔性显示基板沿着所述曲面从所述承载基台上剥离。相较于现有的柔性显示基板剥离装置,本发明通过设计一种具有曲面的承载基台,将待剥离基板放置在具有曲面的承载基台上,在曲面作用下,利用硬质基板和柔性显示基板的形变差异,二者之间发生脱落现象,较容易的将柔性显示基板剥离下来。采用这种曲面承载基台的方式,可以有效避免刀片对柔性基板的损害。
技术领域
本发明涉及显示制造技术领域,具体涉及一种柔性显示基板剥离装置及柔性显示基板剥离方法。
背景技术
柔性显示器因其具有轻量化、薄型化及可弯曲的优点而成为新型显示器的主流发展趋势。但传统的玻璃基板因可弯折曲率过大、质重、易碎等缺点,限制了其在柔性显示器中的应用和发展。因此,目前柔性显示多采用聚合物类的软性基板作载体。而一般面板厂商的制作流程都是先在硬质基板(如玻璃)上做一层软性基板,在做完制程之后,将器件从硬质基板上取下,得到柔性显示器件。
目前,激光分离的方式因激光光束聚焦精度高,时间短,生产效率高等优点,成为面板界主流的取下方式。在进行激光分离时,通常将激光光束从承载基板一侧照射,扫面在柔性基板与承载基板的界面,对界面处的软性基板进行高能量烧蚀,使其从硬质基板上脱落。为了保证显示品质,软性基板在涂布时一般会保留成膜保证区,因此在涂布的边缘部分可能存在涂布不均的情况。使用相同的激光能量照射后,边缘部分可能不会自动脱落。一般需要用刀片或其他方式将边缘部分进行分离才能获得柔性显示基板。但这种方式容易对基板造成损害。
综上所述,目前的技术方案中,剥离硬质基板与柔性显示基板时存在容易损坏柔性显示基板的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供一种显示基板及显示装置,用于解决目前的技术方案中,剥离硬质基板与柔性显示基板时存在容易损坏柔性显示基板的技术问题。
为解决上述问题,第一方面,本发明提供一种柔性显示基板剥离装置,用于剥离相互吸附的柔性显示基板和硬质基板,包括:
承载基台,一侧表面开设有多个通孔;
真空模组,设置于所述承载基台下方,与多个所述通孔连接;
其中,所述承载基台的一侧表面为曲面,使所述柔性显示基板沿着所述曲面从所述承载基台上剥离。
在本发明的一些实施例中,还包括激光发生器,设置于所述承载基台的侧面。
在本发明的一些实施例中,还包括软性吸附板,所述软性吸附板设置于所述承载基台的上方。
在本发明的一些实施例中,还包括滑轨,所述软性吸附板设置于所述滑轨上。
在本发明的一些实施例中,所述软性吸附板的材料为聚酰亚胺、涤纶树脂、聚碳酸酯或三醋酸纤维中的至少一种。
在本发明的一些实施例中,所述承载基台一侧表面的曲率大于100mm。
在本发明的一些实施例中,所述承载基台的曲面为向上凸起的圆弧面。
在本发明的一些实施例中,所述承载基板的曲面为向下凹陷的圆弧面。
第二方面,本发明还提供一种柔性显示基板剥离方法,应用于如上所述的柔性显示基板剥离装置,包括:
用软性吸附板吸附在所述待剥离基板一侧表面;
将所述待剥离基板放置于具有曲面的承载基台上;
启动所述承载基台下方的真空模组,所述承载基台吸附所述待剥离基板的另一侧表面;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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