[发明专利]一种镜面材料平整度检测装置

权利要求书

1.一种镜面材料平整度检测装置，其特征在于，包括：光源(1)、准直镜组(2)、材料支撑部件(3)、漫射屏(4)、图像探测单元(5)和图像处理单元(6)；其中，

所述材料支撑部件(3)用于承载待检测镜面材料(7)；

所述准直镜组(2)设置于所述光源(1)与所述材料支撑部件(3)之间，所述漫射屏(4)设置于所述材料支撑部件(3)与所述图像探测单元(5)之间；所述漫射屏(4)与所述待检测镜面材料(7)的平面平行设置；

所述光源(1)发出的光经过所述准直镜组(2)准直后投射在所述待检测镜面材料(7)，再经所述待检测镜面材料(7)反射后到达所述漫射屏(4)；

所述图像探测单元(5)采集所述漫射屏(4)的透射光线图像，

所述图像探测单元(5)还与所述图像处理单元(6)通信连接；

所述图像探测单元包括：相机；

其中图像处理单元(6)根据所述透射光线图像和预设计算公式，得到所述待检测镜面材料(7)的平整度；

所述预设计算公式为：

其中，ΔE为所述透射光线图像中区域亮度与图像平均亮度的差值，E为所述透射光线图像平均亮度，为光线角度变化量，为缺陷尺寸，δ为所述漫射屏上可识别的最小尺寸，f为所述准直镜组的焦距，S为所述光源的尺寸。

2.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置，其特征在于，所述光源(1)为点光源，且所述点光源位于垂直于所述准直镜组光轴的平面。

3.根据权利要求2所述的镜面材料平整度检测装置，其特征在于，所述点光源包括第一点光源(11)、第二点光源(12)、第三点光源(14)和第四点光源(13)，其中，所述第一点光源(11)、所述第二点光源(12)和所述第三点光源(14)构成等边三角形，所述第四点光源(13)设置于所述等边三角形的中心。

4.根据权利要求3所述的镜面材料平整度检测装置，其特征在于，所述点光源亮度为：10³～10⁸cd/m²。

5.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置，其特征在于，所述光源(1)与所述准直镜组(2)的距离大于或等于所述准直镜组的焦距。

6.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置，其特征在于，所述准直镜组(2)的镜面与所述待检测镜面材料的表面呈30°～60°夹角。

7.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置，其特征在于，还包括外壳，所述光源(1)、所述准直镜组(2)、所述材料支撑部件(3)、所述漫射屏(4)与所述图像探测单元(5)均设置于所述外壳内部。