[发明专利]一种镜面材料平整度检测装置有效

专利信息
申请号: 202010161587.X 申请日: 2020-03-10
公开(公告)号: CN111156932B 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 王福亮;姚毅;邢志广 申请(专利权)人: 凌云光技术股份有限公司
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 逯长明;许伟群
地址: 100094 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 材料 平整 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种镜面材料平整度检测装置,其特征在于,包括:光源(1)、准直镜组(2)、材料支撑部件(3)、漫射屏(4)、图像探测单元(5)和图像处理单元(6);其中,

所述材料支撑部件(3)用于承载待检测镜面材料(7);

所述准直镜组(2)设置于所述光源(1)与所述材料支撑部件(3)之间,所述漫射屏(4)设置于所述材料支撑部件(3)与所述图像探测单元(5)之间;所述漫射屏(4)与所述待检测镜面材料(7)的平面平行设置;

所述光源(1)发出的光经过所述准直镜组(2)准直后投射在所述待检测镜面材料(7),再经所述待检测镜面材料(7)反射后到达所述漫射屏(4);

所述图像探测单元(5)采集所述漫射屏(4)的透射光线图像,

所述图像探测单元(5)还与所述图像处理单元(6)通信连接;

所述图像探测单元包括:相机;

其中图像处理单元(6)根据所述透射光线图像和预设计算公式,得到所述待检测镜面材料(7)的平整度;

所述预设计算公式为:

其中,ΔE为所述透射光线图像中区域亮度与图像平均亮度的差值,E为所述透射光线图像平均亮度,为光线角度变化量,为缺陷尺寸,δ为所述漫射屏上可识别的最小尺寸,f为所述准直镜组的焦距,S为所述光源的尺寸。

2.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置,其特征在于,所述光源(1)为点光源,且所述点光源位于垂直于所述准直镜组光轴的平面。

3.根据权利要求2所述的镜面材料平整度检测装置,其特征在于,所述点光源包括第一点光源(11)、第二点光源(12)、第三点光源(14)和第四点光源(13),其中,所述第一点光源(11)、所述第二点光源(12)和所述第三点光源(14)构成等边三角形,所述第四点光源(13)设置于所述等边三角形的中心。

4.根据权利要求3所述的镜面材料平整度检测装置,其特征在于,所述点光源亮度为:103~108cd/m2

5.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置,其特征在于,所述光源(1)与所述准直镜组(2)的距离大于或等于所述准直镜组的焦距。

6.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置,其特征在于,所述准直镜组(2)的镜面与所述待检测镜面材料的表面呈30°~60°夹角。

7.根据权利要求1所述的镜面材料平整度检测装置,其特征在于,还包括外壳,所述光源(1)、所述准直镜组(2)、所述材料支撑部件(3)、所述漫射屏(4)与所述图像探测单元(5)均设置于所述外壳内部。

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