[发明专利]一种镜面材料平整度检测装置有效
申请号: | 202010161587.X | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN111156932B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 王福亮;姚毅;邢志广 | 申请(专利权)人: | 凌云光技术股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 100094 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 材料 平整 检测 装置 | ||
本申请公开了一种镜面材料平整度检测装置,包括:光源、准直镜组、材料支撑部件、漫射屏、图像探测单元和图像处理单元;所述光源发出的光经过所述准直镜组准直后投射在所述待检测镜面材料,再经所述待检测镜面材料反射后到达所述漫射屏。光线透过所述漫射屏后,经所述图像探测单元对所述漫射屏的透射光线成像,经图像处理单元处理后获知待检镜面材料的起伏即平整度的分布。本申请提供的镜面材料平整度检测装置,成本、效率、复杂度适中,适用于价格低廉但产量巨大的镜面材料。
技术领域
本申请涉及检测技术领域,尤其涉及一种镜面材料平整度检测装置。
背景技术
镜面材料指在可见光观测范围内,平整度在几纳米至几十纳米的材料,如:光学透镜、手机显示屏表面的盖板玻璃、生活中常见的镜面铝以及部分汽车表面的涂漆都属于镜面材料。
平整度是指物体表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度,其两波峰或两波谷之间的距离很小,一般在1mm以下。平整度属于微观几何形状误差,平整度越小,则表面越光滑。
高端镜面材料,例如光学透镜、反射镜,其平整度的检测通常使用干涉仪。干涉仪测量精度很高,可以实现纳米级的绝对测量精度。但是,干涉仪价格昂贵、效率低下,对测量环境的温度、湿度、气压、震动等条件的要求较为苛刻,不适合用于产量巨大的镜面材料如手机显示屏表面的盖板玻璃的平整度的检测。
发明内容
本申请提供了一种镜面材料平整度检测装置,以解决现有装置检测效率低、受环境影响大的技术问题。
为了解决上述技术问题,本申请实施例公开了如下技术方案:
本申请实施例公开了镜面材料平整度检测装置,包括:光源、准直镜组、材料支撑部件、漫射屏、图像探测单元和图像处理单元;其中,
所述材料支撑部件用于承载待检测镜面材料;
所述准直镜组设置于所述光源与所述材料支撑部件之间,所述漫射屏设置于所述材料支撑部件与所述图像探测单元之间;所述漫射屏与所述待检测镜面材料的平面平行设置;
所述光源发出的光经过所述准直镜组准直后投射在所述待检测镜面材料,再经所述待检测镜面材料反射后到达所述漫射屏;
所述图像探测单元采集所述漫射屏的透射光线图像,
所述图像探测单元还与所述图像处理单元通信连接。
可选的,所述光源为点光源,且所述点光源位于垂直于所述准直镜组光轴的平面。
可选的,所述光源包括第一点光源、第二点光源、第三点光源和第四点光源,其中,所述第一点光源、所述第二点光源和所述第三点光源构成等边三角形,所述第四点光源设置于所述等边三角形的中心。
可选的,所述光源亮度为:103~108cd/m2。
可选的,所述光源与所述准直镜组的距离大于或等于所述准直镜组的焦距。
可选的,所述准直镜组的镜面与所述待检测镜面材料的表面呈30°~60°夹角。
可选的,所述镜面材料平整度检测装置还包括外壳,所述光源、所述准直镜组、所述材料支撑部件、所述漫射屏与所述图像探测单元均设置于所述外壳内部。
与现有技术相比,本申请的有益效果为:
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