[发明专利]一种物料传输装置

权利要求书

1.一种物料传输装置，其特征在于，包括：

基底库，被配置为存储基底；

机械手，可拆卸地安装有叉子，所述叉子被配置为取放所述基底，所述机械手被配置为通过所述叉子移动所述基底；

所述机械手包括两个机械臂，每个所述机械臂均可拆卸地安装有所述叉子，分别为取放一般的标准片的第一叉子和取放超薄片的第二叉子；

预对准单元，被配置为对基底预对准；

输出物料单元，被配置为输出基板，以供后续工艺处理基底；

叉子库，被配置为存储至少两种不同类型的叉子；

二次对准单元，位于所述机械手与所述输出物料单元之间，被配置为对来自所述输出物料单元且被后续工艺处理后的基底进行再对准，通过测量所述基底边缘的光强，换算得出所述基底的X-Y位置，如果所述基底的X-Y位置与预设值偏差过大，则所述机械手进行相反地方向补偿运动，保证所述基底能够安全的回到所述基底库中。

2.根据权利要求1所述的物料传输装置，其特征在于，所述预对准单元与所述叉子库分别位于所述机械手的相对两侧；

所述基底库与所述输出物料单元分别位于所述机械手的相对两侧。

3.根据权利要求1所述的物料传输装置，其特征在于，所述叉子库包括叉子库框架以及固定于所述叉子库框架上的多个叉子存储层，所述叉子存储层包括定位销，所述叉子包括定位孔，所述叉子放置到所述叉子存储层后，所述定位销插入所述定位孔中以固定所述叉子，所述多个叉子存储层沿垂直方向分层排列。

4.根据权利要求3所述的物料传输装置，其特征在于，所述叉子存储层包括气缸以及顶杆；所述顶杆与所述气缸相连接，并在所述气缸驱动下沿着所述叉子存储层所在平面内伸缩运动；

所述叉子包括叉子表面凸起，所述叉子放置到所述叉子存储层后，所述叉子表面凸起位于所述顶杆远离所述气缸一侧。

5.根据权利要求1所述的物料传输装置，其特征在于，包括至少两个预对准单元，以对至少两种不同类型的基底预对准。

6.根据权利要求5所述的物料传输装置，其特征在于，所述至少两个预对准单元包括第一预对准单元和第二预对准单元，所述第一预对准单元与所述第二预对准单元在垂直方向上叠置，所述第一预对准单元与所述第二预对准单元被配置为对两种不同类型的基底预对准。

7.根据权利要求6所述的物料传输装置，其特征在于，所述第一预对准单元包括第一转台、固定于所述第一转台的多个真空吸附腔体、多个吸盘和第一电荷耦合器件；

所述多个吸盘被配置为在所述第一预对准单元中暂存所述基底，所述第一转台被配置为在垂直方向升降，并在升起时从所述多个吸盘上顶起所述基底，并在所述第一电荷耦合器件辅助下实现预对准；

所述第二预对准单元包括第二转台、U型暂存部和第二电荷耦合器件；

所述U型暂存部位于所述第二转台的外围，被配置为在所述第二预对准单元中暂存所述基底；所述第二转台被配置为在垂直方向升降，并在升起时从所述U型暂存部顶起所述基底，并在所述第二电荷耦合器件辅助下实现预对准。

8.根据权利要求1所述的物料传输装置，其特征在于，所述二次对准单元包括多个传感器组件，所述传感器组件包括发射器和接收器，所述发射器与所述接收器沿垂直方向上对置。