[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，用于输送基板，其特征在于，具备：

多个支承销，所述多个支承销载置所述基板；

销保持部件，所述销保持部件保持多个所述支承销；

第一移动机构，所述第一移动机构使所述销保持部件在第一方向上移动以输送所述基板，所述第一方向是水平方向中的规定方向；

第二移动机构，所述第二移动机构使所述销保持部件在与上下方向和第一方向正交的第二方向上移动；以及

转动机构，所述转动机构使所述销保持部件以上下方向为转动的轴方向转动，

所述第一移动机构使所述转动机构与所述销保持部件一起在第一方向上移动。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

多个所述支承销中包括吸附所述基板的下表面并把持所述基板的吸附支承销。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第二移动机构使所述转动机构与所述销保持部件一起在第二方向上移动，

所述第一移动机构使所述转动机构及所述第二移动机构与所述销保持部件一起在第一方向上移动。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，

在所述第一移动机构沿第一方向的一方输送所述基板的同时，所述转动机构使所述销保持部件转动。

5.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，

在所述第一移动机构沿第一方向的一方输送所述基板的同时，所述第二移动机构使所述销保持部件及所述转动机构在第二方向上移动，并且，所述转动机构使所述销保持部件转动。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，具备检测机构，所述检测机构用于检测载置于多个所述支承销上的所述基板在第一方向上的位置、在第二方向上的位置以及相对于第一方向或第二方向的倾斜度。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，

具备数据读取机构，所述数据读取机构读取记录在所述基板上的数据。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，

具备裂纹检测机构，所述裂纹检测机构用于检测所述基板的端部有无裂纹，

所述裂纹检测机构具备配置于比所述支承销更靠上侧的位置的摄像头及照明，

在所述第一移动机构沿第一方向的一方输送所述基板的同时，所述裂纹检测机构检测所述基板的端部有无裂纹。

9.根据权利要求8所述的基板输送装置，其特征在于，

具备低反射部件，所述低反射部件配置于所述摄像头的下侧且比所述基板更靠下侧的位置，并且，从上侧观察时至少一部分配置于比所述基板的第二方向上的端面更靠第二方向上的外侧的位置，

所述低反射部件的上表面为黑色，并且是倾斜面，所述倾斜面随着朝向第二方向上的外侧而朝向下侧倾斜。

10.根据权利要求8或9所述的基板输送装置，其特征在于，

配置于所述摄像头的下侧且比所述基板更靠下侧的位置的部件的上表面为黑色。