[发明专利]基板输送装置

说明书

本发明提供一种基板输送装置，其用于输送基板，即使在使基板转动而改变基板的朝向或者进行基板的位置校正的情况下，也能够缩短组装并使用基板输送装置的制造线的循环时间。该基板输送装置具备：载置基板(2)的多个支承销(7)；保持多个支承销(7)的销保持部件(8)；使销保持部件(8)在X方向上移动以输送基板(2)的第一移动机构(9)；使销保持部件(8)在Y方向上移动的第二移动机构；以及使销保持部件(8)以上下方向为转动的轴方向转动的转动机构(11)。第一移动机构(9)使转动机构(11)与销保持部件(8)一起在X方向上移动。

技术领域

本发明涉及输送玻璃基板等基板的基板输送装置。

背景技术

目前，用于处理液晶显示装置等中使用的玻璃基板的基板处理装置是公知的(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的基板处理装置具备：从收容有多块玻璃基板的盒中取出玻璃基板的输送机器人；对基板进行处理的处理部；以及在输送机器人和处理部之间输送玻璃基板的输送机。输送机具备输送玻璃基板的多个输送辊和为了从输送机器人接收玻璃基板而升降的多个顶推销。

在专利文献1所记载的基板处理装置中，在多个顶推销的上端上升到比输送辊的上端更靠上侧的位置的状态下，通过将玻璃基板载置在多个顶推销上，输送机器人将玻璃基板转移到输送机上。当玻璃基板载置到多个顶推销上时，顶推销下降，玻璃基板被载置到输送辊上。当玻璃基板载置到输送辊上时，输送辊旋转，玻璃基板被搬入处理部。在专利文献1所记载的基板处理装置中，因为输送机具备多个能升降的顶推销，所以能够防止输送机器人的手叉和输送辊的干扰，并且能够将玻璃基板从输送机器人转移到输送机上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-310240号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的基板处理装置中，例如，在必须将载置到输送辊上的玻璃基板的朝向改变之后再将玻璃基板搬入处理部的情况、或者必须对载置到输送辊上的玻璃基板进行位置校正(对准)之后再将玻璃基板搬入处理部的情况下，如果在载置于输送辊上的状态下使玻璃基板转动或者进行玻璃基板的位置校正，玻璃基板可能会划伤。因此，在专利文献1所记载的基板处理装置中，使玻璃基板转动而改变玻璃基板的朝向或者进行玻璃基板的位置校正时，需要用顶推销将玻璃基板从输送辊举起，然后使玻璃基板转动或者进行玻璃基板的位置校正。

但是，在输送机上，使玻璃基板转动而改变玻璃基板的朝向或者进行玻璃基板的位置校正时，如果用顶推销将玻璃基板从输送辊举起，然后使玻璃基板转动或者进行玻璃基板的位置校正，则将从输送机器人接收的玻璃基板转移到处理部的时间变长，基板处理装置的循环时间可能会变长。

于是，本发明的技术问题在于提供一种基板输送装置，其用于输送基板，即使在使基板转动而改变基板的朝向或者进行基板的位置校正的情况下，也能够缩短组装并使用基板输送装置的制造线的循环时间。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板输送装置，用于输送基板，其特征在于，具备：多个支承销，所述多个支承销载置基板；销保持部件，所述销保持部件保持多个支承销；第一移动机构，所述第一移动机构使销保持部件在水平方向中的规定方向即第一方向上移动以输送基板；第二移动机构，所述第二移动机构使销保持部件在与上下方向和第一方向正交的第二方向上移动；以及转动机构，所述转动机构使销保持部件以上下方向为转动的轴方向转动，第一移动机构使转动机构与销保持部件一起在第一方向上移动。