[发明专利]光学试验用装置及半导体试验装置

权利要求书

1.一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，上述光学试验用装置的特征在于，具备：

入射光受理部，其接收入射光；以及

光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象，

上述光信号被上述入射对象反射后的反射光信号提供到上述光学测量器具，

上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。

2.一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，上述光学试验用装置的特征在于，具备：

入射光受理部，其接收上述入射光；

光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，输出光信号；以及

光行进方向变化部，其将上述光信号朝向上述光学测量器具照射，

上述光信号通过上述光行进方向变化部对行进方向进行变化后的方向变化光信号提供给上述光学测量器具，

上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。

3.根据权利要求2所述的光学试验用装置，其特征在于，

上述光行进方向变化部使上述光信号分支成两个以上的照射光。

4.一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，上述光学试验用装置的特征在于，具备：

入射光受理部，其接收上述入射光；以及

光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到上述光学测量器具，

上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，

上述入射光受理部将上述入射光转换成电信号，

上述光信号赋予部将使上述电信号延迟上述延迟时间后的信号转换成上述光信号。

6.根据权利要求5所述的光学试验用装置，其特征在于，

具备使上述电信号延迟上述延迟时间的电信号延迟部。

7.根据权利要求6所述的光学试验用装置，其特征在于，

上述电信号延迟部的上述延迟时间是可变的。

8.根据权利要求6所述的光学试验用装置，其特征在于，

各个上述电信号延迟部中的上述延迟时间分别不同，

选择使用上述电信号延迟部中的任一个。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，

上述入射光受理部将上述入射光转换成电信号，

具备输出控制部，该输出控制部基于上述电信号，在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过上述延迟时间后，将上述光信号输出到上述光信号赋予部。

10.根据权利要求l～4中任一项所述的光学试验用装置，其特征在于，

上述光信号赋予部将使上述入射光延迟上述延迟时间后的光作为上述光信号。

11.根据权利要求10所述的光学试验用装置，其特征在于，

具备使上述入射光延迟上述延迟时间的入射光延迟部。

12.根据权利要求11所述的光学试验用装置，其特征在于，

上述入射光延迟部是光纤。