[发明专利]光学试验用装置及半导体试验装置

说明书

本发明提供一种光学试验用装置，防止在取得反射光的器具的试验时，该器具与测量对象的距离变长。在试验光学测量器具(2)时使用光学试验用装置(1)，光学测量器具(2)将来自光源(2a)的入射光提供到入射对象(4)，并取得入射光被入射对象(4)反射后的反射光。光学试验用装置(1)具备：光检测器(1a)，其接收入射光；以及激光二极管(1c)，其在自光检测器(1a)接收入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象(4)。光信号被入射对象(4)反射后的反射光信号提供到光学测量器具(2)。延迟时间大致等于实际使用光学测量器具(2)的情况下的从由光源(2a)照射入射光到通过光学测量器具(2)取得反射光的时间。

技术领域

本发明涉及一种取得反射光的器具的试验。

背景技术

一直以来，已知一种对距离测量的对象提供入射光并取得反射光的距离测量器具。测量该距离测量器具与距离测量的对象的距离(例如，参照专利文献1、2以及3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-15729号公报

专利文献2：日本特开2006-126168号公报

专利文献3：日本特开2000-275340号公报

发明内容

发明所要解决的课题

为了对如上述的现有技术那样的距离测量器具进行试验，将距离测量器具和距离测量的对象分离假定测量的距离进行试验。例如，在将搭载于汽车的LiDAR模块假定为距离测量器具的情况下，假定测量的距离(以下有时称为“假定距离”)为大致200m。

然而，根据如上所述的试验，存在必须使距离测量器具和距离测量的对象实际地分离假定距离的问题。例如，导致为了试验而需要广阔的用地(例如，200m×200m的正方形的用地)。

因此，本发明的课题在于，防止在取得反射光的器具的试验时，该器具与测量对象(或取代测量对象的对象体)的距离变长。

用于解决课题的方案

本发明的第一光学试验用装置在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光，该第一光学试验用装置构成为，具备：入射光受理部，其接收入射光；以及光信号赋予部，其在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象，上述光信号被上述入射对象反射后的反射光信号被提供到上述光学测量器具，上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。

根据如上述地构成的第一光学试验用装置，能够提供一种光学试验用装置，其在对光学测量器具进行试验时使用，该光学测量器具将来自光源的入射光提供到入射对象，并取得该入射光被该入射对象反射后的反射光。入射光受理部接收入射光。光信号赋予部在自上述入射光受理部接收上述入射光起经过预定的延迟时间后，将光信号提供到入射对象。上述光信号被上述入射对象反射后的反射光信号提供到上述光学测量器具。上述延迟时间大致等于实际使用上述光学测量器具的情况下的从由上述光源照射上述入射光到通过上述光学测量器具取得上述反射光的时间。