[发明专利]一种蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括坩埚本体和基板，所述坩埚本体位于所述基板上方，所述坩埚本体和基板之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体产生的灰尘颗粒；

所述坩埚本体的一侧面设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板；

所述防尘装置包括上防尘板，所述上防尘板与所述坩埚本体相互平行设置，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述上防尘板的边缘平齐；所述上防尘板上设有盲孔；所述上防尘板靠近所述坩埚本体的一侧面的边缘上设有侧板，所述侧板倾斜设置在所述上防尘板上，所述侧板与所述上防尘板的延伸面之间形成的夹角为45-90°且所述侧板在所述上防尘板的延伸面的投影的水平宽度为1-3cm；

所述防尘装置还包括下防尘板，所述下防尘板设置在所述上防尘板与所述基板之间，所述下防尘板与所述上防尘板相互平行设置且所述下防尘板的轴中心和上防尘板的轴中心在同一直线上，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述下防尘板的边缘与所述上防尘板的边缘不平齐。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴的延长线与所述基板所在的法线之间形成的夹角为30-45°。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述上防尘板的边缘处所在的法线与所述下防尘板的边缘处所在的法线之间的距离为2-6cm。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述上防尘板与所述下防尘板之间设有间距，所述间距为1-3cm。