[发明专利]一种蒸镀装置

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置，通过将坩埚本体设置在基板上方，能够避免基板产生弯曲，且使得基板和掩膜版能够更好地贴合在一起；由于坩埚本体在蒸镀和运动过程中会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒落在设置在基板上的掩膜版上会造成掩膜版塞孔，影响到基板的镀膜，在坩埚本体和基板之间设置防尘装置，能够有效防止灰尘颗粒落入到掩膜版上，进而能够在减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用，提高基板镀膜的稳定性和品质度。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称为OLED)被发明以来，备受业界关注，经过几十年的发展，凭借其轻薄和可挠曲等特性，现已广泛应用在显示领域，是目前最具发展前景的显示技术。

OLED的核心部分是由多层的不同功能的有机层构成，这些有机层的厚度一般在几埃到几千埃之间，每层的厚度必须精确控制；目前，物理气相沉积法是制作有机层的主流技术：将有机材料在真空腔中加热，使得材料气化或者升华，沉积在温度比较低的基板上，形成多层膜的OLED器件。

比较常见的做法是：基板在真空腔的上部并且镀膜面朝下，盛有有机材料的坩埚在腔体下部，有机材料在坩埚内部经过加热升华或者气化，沉积在基板上；由于基板的厚度一般在1mm以内且镀膜面朝下，只能在基板的边界处非镀膜区域做支撑，基板中间镀膜区域无法做支撑，因此基板在重力的作用下很容易产生弯曲(bending)；为了减小基板的弯曲，必须控制基板的尺寸并保持比较厚的厚度，限制了生产效率的提高和成本的节约。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种能够减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用的蒸镀装置。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种蒸镀装置，包括坩埚本体和基板，所述坩埚本体位于所述基板上方，所述坩埚本体和基板之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体产生的灰尘颗粒；

所述坩埚本体的一侧面设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板。

本发明的有益效果在于：

通过将坩埚本体设置在基板上方，能够避免基板产生弯曲，且使得基板和掩膜版能够更好地贴合在一起；由于坩埚本体在蒸镀和运动过程中会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒落在设置在基板上的掩膜版上会造成掩膜版塞孔，影响到基板的镀膜，在坩埚本体和基板之间设置防尘装置，能够有效防止灰尘颗粒落入到掩膜版上，进而能够在减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用，提高基板镀膜的稳定性和品质度。

附图说明

图1为根据本发明的一种蒸镀装置的结构示意图；

图2为根据本发明的一种蒸镀装置的尺寸示意图；

标号说明：

1、坩埚本体；2、基板；3、上防尘板；4、下防尘板；5、侧板。

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1，本发明提供的技术方案：

一种蒸镀装置，包括坩埚本体和基板，所述坩埚本体位于所述基板上方，所述坩埚本体和基板之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体产生的灰尘颗粒；

所述坩埚本体的一侧面设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板。

从上述描述可知，本发明的有益效果在于：