[发明专利]具有阻挡组件的微机电红外光感测装置

权利要求书

1.一种微机电红外光感测装置，其特征在于，包含：

基板，包含红外光反射层；

感应板，包含:

红外光吸收层；

多个支撑组件 ，设置于该基板上，其中每一该支撑组件连接该感应板，使该感应板悬浮于该红外光反射层的上方；以及

多个阻挡组件，设置于该基板及该感应板之间，并包含多个第一阻挡组件及多个第二阻挡组件，该些第一阻挡组件的高度大于该些第二阻挡组件的高度，且该些第一阻挡组件与该感应板的中心之间的距离大于该些第二阻挡组件与该感应板的中心之间的距离；

其中，当该些第一阻挡组件及该些第二阻挡组件皆无抵触该基板或该感应板时，该微机电红外光感测装置以一第一吸收率模式运作，当该感应板朝向该红外光反射层移动而使该些第一阻挡组件抵触该基板或该感应板时，该感应板与该红外光反射层之间的间距实质上等于该些第一阻挡组件的高度，使该微机电红外光感测装置进入一第二吸收率模式，当该感应板朝向该红外光反射层移动而使该些第一阻挡组件及该些第二阻挡组件同时抵触该基板或该感应板时，该感应板与该红外光反射层之间的间距实质上等于该些第二阻挡组件的高度，使该微机电红外光感测装置进入一第三吸收率模式。

2.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该些支撑组件朝向该基板的刚性小于该感应板朝向该基板的刚性。

3.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡组件设置于该感应板上。

4.如权利要求3所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡组件的连线可形成一多边形，该多边形为轴对称多边形或中心对称多边形。

5.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡组件设置于该支撑组件上。

6.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡组件设置于该基板上。

7.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，还包含电压源，其中该电压源电连接该红外光反射层及该感应板， 以使该红外光反射层及该感应板之间产生电压差。

8.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该些个阻挡组件具有不同的高度。

9.如权利要求8所述的微机电红外光感测装置，其中该些第一阻挡组件连接至少一个该支撑组件，该些第二阻挡组件连接该感应板。

10.如权利要求8所述的微机电红外光感测装置，其中该感应板还包含红外光感应层及导电层，该红外光吸收层设置于该红外光感应层与该导电层之间。

11.如权利要求10所述的微机电红外光感测装置，还包含电压源，该电压源电连接该红外光反射层及该导电层，以使该红外光反射层及该导电层之间产生电压差。

12.如权利要求10所述的微机电红外光感测装置，其中该导电层的材质与该红外光感应层的材质相同。

13.如权利要求12所述的微机电红外光感测装置，其中该导电层的材质及该红外光感应层的材质为下列材料之一：合金层、金属化合物层、金属氧化物层、硅化合物层及硅层，该红外光吸收层的材质为介电材料层。

14.如权利要求13所述的微机电红外光感测装置，其中该导电层的材质及该红外光感应层的材质为下列材料之一：硅锗合金(SiGe)、氧化钒(VO_x)、多晶硅(p-Si、a-Si)及钛硅化物(Ti-silicide)，而该红外光吸收层的材质为下列材料之一：氮化硅(SiN_x)、氧化硅(SiO_x)及氮氧化硅(SiO_xN_y)。