[发明专利]具有阻挡组件的微机电红外光感测装置

说明书

本发明公开一种具有阻挡组件的微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、多个支撑组件及多个阻挡组件。基板包含红外光反射层。感应板包含红外光吸收层。该些支撑组件设置于基板上，每一支撑组件连接感应板，使感应板可悬浮于红外光反射层的上方。该些阻挡组件可设置于基板及感应板之间。当感应板朝向红外光反射层移动而使该些阻挡组件抵触基板或感应板时，感应板与红外光反射层之间的间距可实质上等于至少一个阻挡组件的高度。

技术领域

本发明涉及一种可调整温度感测范围的微机电红外光感测装置。

背景技术

近年来，微机电红外光感测装置已被应用于各种不同的领域。而在未来，微机电红外光感测装置在工业生产、环境监控、居家照护及温度测量等领域的需求将大幅增加。而为了要能够符合未来的需求，微机电红外光感测装置不但需要适用于不同的温度，且需要能够根据不同的环境温度自动调整。

然而，在微机电红外光感测装置的红外光吸收层及红外光反射层之间的间距为固定的情况下，利用高分辨率的读取电路读取微机电红外光感测装置的信号时，读取电路容易产生饱和的情形，使微机电红外光感测装置的感测范围受到限制。

另外，现有的微机电红外光感测装置的红外光吸收层容易因外在温度变化使感应板产生较大的应力及较大的翘曲量，造成红外光吸收层及红外光反射层之间产生不一致的间距，进而影响了微机电红外光感测装置的感测效能。

发明内容

根据本发明的一种微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、多个支撑组件及多个阻挡组件。基板包含红外光反射层。感应板包含红外光吸收层。该些支撑组件设置于基板上，每一支撑组件连接感应板，使感应板悬浮于红外光反射层的上方。该些阻挡组件设置于基板及感应板之间。当感应板朝向红外光反射层移动而使该些阻挡组件抵触基板或感应板时，感应板与红外光反射层之间的间距实质上等于至少一个阻挡组件的高度。

根据本发明的一种微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、多个支撑组件及多个阻挡组件。基板包含红外光反射层。感应板包含红外光感应层、导电层及红外光吸收层；红外光吸收层设置于红外光感应层及导电层之间。该些支撑组件设置于基板上，每一支撑组件连接感应板，使感应板悬浮于红外光反射层的上方。该些阻挡组件设置于基板及感应板之间。当感应板朝向红外光反射层移动而使该些阻挡组件抵触基板或感应板时，感应板与红外光反射层之间的间距实质上等于至少一个阻挡组件的高度。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图2～图3为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的剖视图；

图4～图5为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的模拟结果图；

图6为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图7为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图8为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图9为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图10为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图11为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图12为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图13为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图14为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；