[发明专利]一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装

权利要求书

1.一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；所述阳极装配装置和所述阴极装配装置设置于所述底板的同一个面上；

所述阳极装配装置，用于支撑阳极基座；

所述阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。

2.如权利要求1所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，所述阳极装配装置与所述底板可拆卸连接或者一体成型，所述阴极装配装置与所述底板固定连接或者可拆卸连接。

3.如权利要求1所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，所述阳极装配装置至少包括两个呈对角设置的支撑柱，所述支撑柱的位置与待装配阳极的所述阳极基座边缘开设的安装孔的位置相应。

4.如权利要求3所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，每个所述支撑柱均包括基柱和位于基柱顶端的支柱；所述支柱的外径小于或等于所述阳极基座边缘开设的安装孔的内孔径，并小于所述基柱的外径。

5.如权利要求4所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，所述支柱与所述基柱可拆卸连接或者一体成型。

6.如权利要求1～5任一项所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，所述阴极装配装置包括立板和至少一个支撑块组；

所述立板的底端与所述底板固定连接或者滑动连接，所述立板的顶端开设与待装配阴极的形状及尺寸相适应的凹槽；

所述支撑块组中包括两个支撑块，两个所述支撑块分别设置于所述立板的相对两个侧面，所述支撑块组用于支撑待装配阴极陶瓷板，使所述凹槽内的待装配阴极装配于所述支撑块组上的待装配阴极陶瓷板内。

7.如权利要求6所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，每个所述支撑块的支撑面边缘均设置限位凸起。

8.如权利要求6所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，每个所述支撑块均与所述立板滑动连接。

9.如权利要求6所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，每个所述支撑块的材质均为塑料材质。

10.如权利要求6所述的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，其特征在于，所述立板的板面上开设一个或多个通孔。