[发明专利]一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装

说明书

本发明属于激光技术领域，提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；阳极装配装置和阴极装配装置设置于底板的同一个面上；阳极装配装置，用于支撑阳极基座；阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。

技术领域

本发明属于激光技术领域，具体渉及准分子激光器技术领域，提出了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装。

背景技术

准分子激光器是以准分子为工作物质的一类气体激光器件。准分子激光器的激光波长短，对于材料不产生热效应，因此在工业加工领域有着广泛的应用。尤其在高端光刻领域，现已具有高重频、窄线宽和大能量特点的准分子激光器。准分子激光器已经成为目前半导体光刻领域占绝对主导地位的光源。

在准分子激光器产品的组装过程中，渉及到放电腔的阴极组件及阳极组件的装配。传统的装配方法采用手工组装，费时费力。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，解决了现有技术中的装配方法费时费力。

本发明实施例提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；所述阳极装配装置和所述阴极装配装置设置于所述底板的同一个面上；

所述阳极装配装置，用于支撑阳极基座；使用时，在已支撑起来的阳极基座上安装阳极即可。

所述阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。

优选地，所述阳极装配装置与所述底板可拆卸连接或者一体成型，所述阴极装配装置与所述底板固定连接或者可拆卸连接。

优选地，所述阳极装配装置至少包括两个呈对角设置的支撑柱，所述支撑柱的位置与待装配阳极的所述阳极基座边缘开设的安装孔的位置相应。

优选地，每个所述支撑柱均包括基柱和位于基柱顶端的支柱；所述支柱的外径小于或者等于所述阳极基座边缘开设的安装孔的内孔径，并小于所述基柱的外径。

优选地，所述支柱与所述基柱可拆卸连接或者一体成型。

优选地，所述阴极装配装置包括立板和至少一个支撑块组；

所述立板的底端与所述底板固定连接或者滑动连接，所述立板的顶端开设与待装配阴极的形状及尺寸相适应的凹槽；

所述支撑块组中包括两个支撑块，两个所述支撑块分别设置于所述立板的相对两个侧面，所述支撑块组用于支撑待装配阴极陶瓷板，使所述凹槽内的待装配阴极装配于所述支撑块组上的待装配阴极陶瓷板内。

优选地，每个所述支撑块的支撑面边缘均设置限位凸起。

优选地，每个所述支撑块均与所述立板滑动连接。

优选地，每个所述支撑块的材质均为塑料材质。

优选地，所述立板的板面上开设一个或多个通孔。

本发明实施例与现有技术相比存在的有益效果是：

本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。同时，采用该装配工装，可以避免阴极陶瓷板的磕碰损伤，保证了装配质量，同时降低了成本。

本申请的装配工装，设置阴极装配装置与底板为可拆卸连接的连接方式，可根据装配需要使阴极装配装置与底板分离，实现结构复用，即1套工装既可装配阴极组件又可以装配阳极组件。