[发明专利]驱动装置以及输送装置

说明书

本发明涉及驱动装置以及输送装置。可以抑制装置内的颗粒向装置外泄漏，并且使装置外的空气难以导入装置的内部空间。驱动装置具备：旋转体，所述旋转体的至少下方部为圆筒状的被旋转部；壳体，所述壳体具有供所述被旋转部插通的顶板部；驱动机构，所述驱动机构设置在所述壳体内，使所述旋转体旋转；以及排气构件。所述壳体的所述顶板部具备供所述被旋转部插通的圆形的开口、以及以包围该开口的方式设置且与所述开口连通的槽部，所述槽部在该槽部的周向上的至少一处具备增大所述开口的径向上的槽宽度的扩宽部，所述排气构件与所述扩宽部连通地设置，对所述槽部内的空气进行排气。

技术领域

本发明涉及驱动装置以及输送装置。

背景技术

如使机械臂回旋的驱动装置那样，在使旋转体旋转的驱动装置中，在旋转体的周围产生气流。这样的气流成为使驱动装置内的颗粒向装置外泄漏的主要原因，因此，在像输送半导体晶片的输送机器人那样在洁净室内使用的驱动装置中，需要抑制颗粒的产生的对策。在专利文献1中，通过在旋转体的附近配置吸引管来吸入装置外的空气，从而抑制装置内的颗粒泄漏。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭62-228394号公报

发明要解决的课题

在专利文献1的结构中，由于吸引管对装置的内部空间进行吸引，因此，装置外的空气容易被导入装置的内部空间。若装置外的空气被导入装置的内部空间，则因其湿气而成为装置内的机构的腐蚀、生锈的主要原因。

发明内容

本发明的目的在于，抑制装置内的颗粒向装置外泄漏，并且使装置外的空气难以导入装置的内部空间。

用于解决课题的方案

根据本发明，提供一种驱动装置，该驱动装置具备：

旋转体，所述旋转体的至少下方部为圆筒状的被旋转部；

壳体，所述壳体具有供所述被旋转部插通的顶板部；

驱动机构，所述驱动机构设置在所述壳体内，使所述旋转体旋转；以及

排气构件，

所述驱动装置的特征在于，

所述壳体的所述顶板部具备供所述被旋转部插通的圆形的开口、以及以包围该开口的方式设置且与所述开口连通的槽部，

所述槽部在该槽部的周向上的至少一处具备增大所述开口的径向上的槽宽度的扩宽部，

所述排气构件与所述扩宽部连通地设置，对所述槽部内的空气进行排气。

发明效果

根据本发明，可以抑制装置内的颗粒向装置外泄漏，并且使装置外的空气难以导入装置的内部空间。

附图说明

图1是本发明的实施方式的输送装置的立体图。

图2是图1的输送装置所具备的驱动装置的俯视图。

图3是表示图1的输送装置所具备的驱动装置的内部结构的图。

图4是表示图1的输送装置所具备的驱动装置的内部结构的图。

图5是顶板部的分解立体图。

图6(A)是槽部的周边的俯视图，(B)是图6(A)的X-X线剖视向视图。

图7(A)是图6(B)的C部放大图，(B)是图6(B)的D部放大图。

图8(A)是隔壁的说明图，(B)以及(C)是表示隔壁的其他结构例的图。