[发明专利]执行半导体动态和静态测试的方法、装置及存储介质

权利要求书

1.一种执行半导体动态和静态测试的装置，其特征在于，所述装置包括：

母线电容，一端用于与第一被测器件的漏极连接，另一端用于与第二被测器件的源极连接，所述第一被测器件的源极和所述第二被测器件的漏极连接；

第一可控开关，一端与所述母线电容的一端连接；

负载电感切换模块，一端用于连接至所述第一被测器件的源极，另一端与所述第一可控开关的另一端连接；

第二可控开关，一端与所述负载电感切换模块的另一端连接，另一端用于与所述第二被测器件的源极连接；

第一信号使能模块，用于采集所述第一被测器件的漏极与所述母线电容之间的节点的电流、所述第一被测器件的栅极与所述第一被测器件的源极之间的电压以及所述第一被测器件的源极和所述第一被测器件的漏极之间的电压；

第二信号使能模块，用于采集所述第二被测器件的漏极与所述母线电容之间的节点的电流、所述第二被测器件的栅极与所述第二被测器件的源极之间的电压以及所述第二被测器件的源极和所述第二被测器件的漏极之间的电压；

上位机，与所述第一信号使能模块和所述第二信号使能模块连接，用于控制所述第一信号使能模块和所述第二信号使能模块的工作以完成所述动态和静态测试。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一信号使能模块和所述第二信号使能模块中的至少一者包括：

高速采样板卡，用于采集所述第一被测器件/第二被测器件的漏极与所述母线电容之间的节点的电流、所述第一被测器件/第二被测器件的栅极与所述第一被测器件/第二被测器件的源极之间的电压以及所述第一被测器件/第二被测器件的源极和所述第一被测器件/第二被测器件的漏极之间的电压；

第一钳位电路，与所述高速采样板卡的第一端连接；

第二钳位电路，与所述高速采样板卡的第二端连接；

隔离电路，一端与所述高速采样板卡的第三端连接，另一端用于输出采集信号或接收上位机输入的测试信号。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括第一二极管，正极用于与所述第一被测器件的源极连接，负极用于与所述第一被测器件的漏极连接。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括第二二极管，正极用于于所述第二被测器件的源极连接，负极用于与所述第二被测器件的漏极连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述负载电感切换模块包括：

串联的至少两个电感，首个所述电感的一端用于与所述第一被测器件的源极连接；

与所述电感一一对应的第三可控开关，每个所述电感通过对应的所述第三可控开关与所述第一可控开关的另一端连接。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括温度调节模块，所述温度调节模块与所述上位机连接，用于调节所述第一被测器件/第二被测器件的温度。

7.一种执行半导体动态和静态测试的方法，其特征在于，所述方法包括：

获取DoE参数；

从所述DoE参数中按照顺序选取一个测试点；

将所述测试点输入如权利要求1至6任一所述的装置的第一信号使能模块/第二信号使能模块中以执行测试；

从所述第一信号使能模块/所述第二信号使能模块中接收选取的测试点的结果；

判断选取的所述测试点是否为最后一个测试点；

在判断选取的所述测试点不为最后一个测试点的情况下，再次从所述DoE参数中按照顺序选取一个测试点，直到判断选取的所述测试点为最后一个测试点；

在判断选取的所述测试点为最后一个测试点的情况下，对所有的所述结果执行数据批量处理操作，并提取所述器件静态特征参数/动态特征参数；

输出所述第一被测器件/第二被测器件静态特征参数/动态特征参数。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述从所述第一信号使能模块/所述第二信号使能模块中接收选取的测试点的结果具体包括：

采用统一的格式存储所述结果。