[发明专利]对准装置、基板处理装置、对准方法以及基板处理方法

说明书

本发明提供对准装置、基板处理装置、对准方法以及基板处理方法。调节排列配置的两张矩形基板的配置位置。限制边部的位置，该边部形成分别设定到两张相邻地排列配置的矩形基板的第1角部、第2角部，使压靠部分别从与各边部相对的方向压靠而进行矩形基板的对准。并且，构成为，在限制部设置有移动机构而能够使从第1角部、第2角部向与两张矩形基板的排列方向交叉的方向延伸的两个边部的分开间隔和这些边部所成的角度变化。因此，能够调节各矩形基板的配置位置。

技术领域

本公开涉及一种进行基板的对准的对准装置、基板处理装置、对准方法以及基板处理方法。

背景技术

在平板显示器(Flat Panel Display：FPD)的制造工序中，预先进行玻璃基板的对准并进行对位，以便在向进行基板处理的基板处理室送入玻璃基板时，能够向正确的位置送入。

专利文献1着眼于，在多个基板的处理室与输送玻璃基板的输送室连接起来的基板处理装置中，在进行向各处理室输送的玻璃基板的对准时，在连接各处理室之际产生的错位。并且，记载有如下技术：针对成为玻璃基板的输送目的地的每个处理室，调节玻璃基板的配置位置，在正确的位置载置玻璃基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-324366号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开是在这样的状况下做成的，提供调节排列配置的两张矩形基板的配置位置的技术。

用于解决问题的方案

本公开的对准装置是调节矩形基板的配置位置的对准装置，其具备：

载置台，其设定有用于将两张矩形基板相邻地排列配置的第1基板配置区域和第2基板配置区域；

第1限制部和第2限制部，在将从构成被配置于所述第1基板配置区域的矩形基板的4个角部选择的1个角部设为第1角部时，该第1限制部和该第2限制部分别限制形成所述第1角部的两个边部的配置位置；

第1压靠部，其从与形成所述第1角部的两个边部相对的方向朝向所述第1限制部和所述第2限制部压靠矩形基板；

第3限制部和第4限制部，在将从构成被配置于所述第2基板配置区域的矩形基板的4个角部选择的1个角部设为第2角部时，该第3限制部和该第4限制部分别限制形成所述第2角部的两个边部的配置位置；

第2压靠部，其从与形成所述第2角部的两个边部相对的方向朝向所述第3限制部和所述第4限制部压靠矩形基板；以及

移动机构，为了使从所述第1角部和所述第2角部向与所述两张矩形基板的排列方向交叉的方向延伸的两个边部的分开间隔和这些边部所成的角度变化，该移动机构使所述第1限制部～所述第4限制部分别移动。

发明的效果

根据本公开，能够调节排列配置的两张矩形基板的配置位置。

附图说明

图1是一实施方式的真空处理装置的俯视图。

图2是一实施方式的加载互锁室的俯视图。

图3是一实施方式的中央限制部的俯视图。

图4是表示一实施方式的中央限制部的作用的说明图。

图5是表示一实施方式的中央限制部的作用的说明图。