[发明专利]装载端口

权利要求书

1.一种装载端口，所述装载端口具备：端口板，所述端口板具有能够进行基板的存取的开口部；以及载置台，所述载置台载置收容所述基板的容器，所述装载端口的特征在于，

所述载置台具备：

基座部；

移送板，所述移送板载置所述容器；

支承单元，所述支承单元设置在所述基座部与所述移送板之间，并将所述移送板支承为能够在所述端口板侧的第一位置与从所述端口板远离的第二位置之间移动；以及

凸轮机构，所述凸轮机构使所述移送板相对于所述基座部在所述第一位置与所述第二位置之间移动，

所述支承单元包括搭载所述移送板并与所述移送板一起移动的滑动件，

所述凸轮机构包括：

驱动机构，所述驱动机构设置于所述基座部；以及

凸轮板，所述凸轮板与所述滑动件连结，且形成有凸轮槽，

所述驱动机构包括：

旋转驱动单元；

旋转轴，所述旋转轴利用该旋转驱动单元进行旋转；

长片状的旋转构件，所述长片状的旋转构件固定于该旋转轴，并以该旋转轴为旋转中心进行旋转；以及

第一凸轮从动件及第二凸轮从动件，所述第一凸轮从动件及第二凸轮从动件设置于所述旋转构件，

所述凸轮槽包括：

第一凸轮槽，所述第一凸轮槽与所述第一凸轮从动件卡合；以及

第二凸轮槽，所述第二凸轮槽在所述移送板的移动方向上形成在与所述第一凸轮槽不同的位置，并与所述第二凸轮从动件卡合。

2.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，

所述滑动件具备：

中间板，所述中间板与所述凸轮板连结，并通过所述凸轮机构进行移动；以及

旋转单元，所述旋转单元设置于该中间板，并将所述移送板支承为能够旋转。

3.根据权利要求2所述的装载端口，其特征在于，

在所述凸轮板与所述中间板之间夹设有弹性构件。

4.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，

所述装载端口还具备检测部件，所述检测部件设置于所述基座部，并对所述旋转构件的旋转姿态进行检测。

5.根据权利要求4所述的装载端口，其特征在于，

所述检测部件检测所述移送板位于所述第一位置、所述第二位置或所述第一位置与所述第二位置之间的中间位置时的所述旋转构件的旋转姿态。

6.根据权利要求5所述的装载端口，其特征在于，

所述检测部件包括与所述第一位置、所述第二位置及所述中间位置对应地设置的第一传感器、第二传感器及第三传感器，

与该中间位置对应地设置的所述第三传感器的相对于所述基座部的位置调节自如。

7.根据权利要求6所述的装载端口，其特征在于，

所述装载端口具备传感器移动机构，所述传感器移动机构包括驱动源，通过该驱动源的驱动力，在所述旋转轴的周向上变更与所述中间位置对应地设置的所述第三传感器的位置。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的装载端口，其特征在于，

所述第一凸轮从动件及所述第二凸轮从动件在所述旋转轴的周向上配置在不同的位置，且到所述旋转轴的距离相互不同。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的装载端口，其特征在于，

所述第一凸轮槽及所述第二凸轮槽为沿与所述移送板的移动方向正交的方向延伸的直线状的槽，

所述旋转轴、所述第一凸轮从动件及所述第二凸轮从动件位于相同的直线上，

在该相同的直线与所述移送板的移动方向平行时，所述移送板位于所述第一位置或所述第二位置。