[发明专利]一种光刻机运动台系统和光刻机

权利要求书

1.一种光刻机运动台系统，其特征在于：包括基座(1)和基座(1)上的工作台(11)，工作台(11)与基座(1)之间设有随动台(12)，随动台(12)上表面始终作为所述工作台(11)的气浮支撑面，随动台(12)通过其底部设置的水平驱动单元(13)控制移动；所述基座(1)上设有垂直移动单元(14)与水平移动单元(15)，垂直移动单元(14)与水平移动单元(15)用于驱动光刻单元(16)位移；所述随动台(12)一侧固连有反光板(17)，基座(1)上方两侧对称设有一号支架(2)与二号支架(21)，一号支架(2)上安装有倾斜向下的激光发射器(22)，二号支架(21)上与激光发射器(22)对应位置设有感光板(23)，感光板(23)与激光发射器(22)均通过控制器连接电源；所述激光发射器(22)发出的激光经反光板(17)反射后打在感光板(23)上；所述随动台(12)与水平驱动单元(13)之间设有一组补偿单元(3)，补偿单元(3)通过控制器连接电源，补偿单元(3)用于补偿随动台(12)受热后引起的变形。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机运动台系统，其特征在于：一号支架(2)与二号支架(21)顶部固连有横杆(24)，且一号支架(2)与二号支架(21)与基座(1)分离设置；所述反光板(17)与随动台(12)之间固连有隔热的陶瓷座(25)，陶瓷座(25)配合横杆(24)用于减少基座(1)温度变化引起的变形对激光发射器(22)发射的激光角度的影响，提高补偿单元(3)的调节精度。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机运动台系统，其特征在于：所述补偿单元(3)包括支撑杆(31)，支撑杆(31)中部设有凸块(32)，凸块(32)与水平移动单元(15)固连，支撑杆(31)贯穿凸块(32)并与凸块(32)螺纹连接；所述支撑杆(31)一端固连有关节球(33)，关节球(33)与随动台(12)关节轴承连接，支撑杆(31)另一端套设有蜗轮(34)，支撑杆(31)靠近蜗轮(34)的一端贯穿蜗轮(34)之后与水平移动单元(15)转动连接；所述蜗轮(34)一侧的水平移动单元(15)上固连有伺服电机(35)，伺服电机(35)通过控制器连接电源；所述伺服电机(35)的输出轴固连有用于驱动蜗轮(34)的蜗杆(36)；通过蜗杆(36)带动蜗轮(34)旋转，配合支撑杆(31)调节随动台(12)的高度，弥补随动台(12)受热引起的变形。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机运动台系统，其特征在于：所述所述蜗轮(34)外周中部设有滑动部(37)，滑动部(37)用于增加支撑杆(31)的垂直移动范围，增加补偿单元(3)的补偿范围。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机运动台系统，其特征在于：所述关节球(33)与支撑杆(31)之间固连有细杆(38)，细杆(38)直径小于支撑杆(31)；所述关节球(33)下方套设有用于紧固关节球(33)的压盘(39)，压盘(39)与随动台(12)通过螺栓固连；所述压盘(39)与随动台(12)之间设有柔性的垫圈(310)；通过垫圈(310)配合细杆(38)减少关节球(33)与随动台(12)之间的间隙，减少支撑杆(31)运动是的误差，进一步提高补偿单元(3)的调节精度。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机运动台系统，其特征在于：所述蜗轮(34)外周的齿圈为氮化硅陶瓷制成；所述伺服电机(35)外周套设有封闭的电机仓(4)，电机仓(4)一侧通过冷却管(41)与制冷气体连通；所述蜗杆(36)贯穿电机仓(4)并与伺服电机(35)的输出轴固连；所述蜗杆(36)内轴向开设有一号孔(42)，一号孔(42)底部沿蜗杆(36)径向方向开设有二号孔(43)，通过制冷气体流经二号孔(43)与一号孔(42)，降低蜗杆(36)的发热变形，进一步提高补偿单元(3)的调节精度。

7.一种光刻机，其特征在于，所述光刻机的工作台系统采用权利要求1至6中任何一项所述的光刻机运动台系统。