[发明专利]一种CoWP兼容性的半水基清洗液、其制备方法及应用在审

申请号：	202010209656.X	申请日：	2020-03-23
公开（公告）号：	CN113430070A	公开（公告）日：	2021-09-24
发明（设计）人：	王溯;蒋闯;史筱超	申请（专利权）人：	上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号：	C11D1/94	分类号：	C11D1/94;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/60;H01L21/02;B08B3/08
代理公司：	上海弼兴律师事务所 31283	代理人：	王卫彬;陈卓
地址：	201616 ***	国省代码：	上海;31
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摘要：
搜索关键词：	一种 cowp 兼容性半水基清洗制备方法应用
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【权利要求书】：

1.一种半水基清洗液，其特征在于，其由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：5％-70％的溶剂、0.5％-20％的醇胺、0.1％-20％的季铵碱、0.1％-15％的缓蚀剂、0.1％-10％的钝化剂、0.01％-20％的螯合剂、0.1％-10％的两性表面活性剂、0.1％-10％的非离子型表面活性剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占原料的总质量的百分比；

其中，所述的溶剂为甘油酸；

所述的钝化剂为三((5-(吡唑-4-基)吡啶-2-基)甲基)；

所述的非离子型表面活性剂为EO-PO聚合物L42、EO-PO聚合物L43和EO-PO聚合物L44中的一种或多种。

2.如权利要求1所述的半水基清洗液，其特征在于，

所述的溶剂的质量分数为10％-60％，所述的质量分数为所述的溶剂的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的醇胺的质量分数为1％-10％，所述的质量分数为所述的醇胺的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的季铵碱的质量分数为1％-15％，所述的质量分数为所述的季铵碱的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为1％-15％，所述的质量分数为所述的缓蚀剂的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的钝化剂的质量分数为0.5％-10％，所述的质量分数为所述的钝化剂的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的螯合剂的质量分数为1％-20％，所述的质量分数为所述的螯合剂的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的两性表面活性剂的质量分数为1％-5％，所述的质量分数为所述的两性表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比；

和/或，所述的非离子型表面活性剂的质量分数为1％-5％，所述的质量分数为所述的非离子型表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比。