[发明专利]测试系统和通信方法

权利要求书

1.一种测试系统，其特征在于，包括：

多个单元，其被用于器件的特性试验；以及

集成控制器，其对所述多个单元进行控制，

其中，所述多个单元使用电缆与所述集成控制器以菊花链方式连接，

所述多个单元的中每个单元具有通信部，所述通信部经由所述电缆接收由所述集成控制器发送的命令和时序信号，并且经由所述电缆将由本单元生成的数据信号发送给所述集成控制器。

2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，

所述通信部将经由所述电缆从本单元的上层单元或所述集成控制器接收的命令经由所述电缆传输到本单元的下层单元，

每个单元具有操作部和控制部，所述操作部执行由所述通信部接收的命令中的、由包括本单元的ID的命令所指定的操作，所述控制部参照由所述通信部接收的时序信号，确定所述操作部开始所述操作的时序。

3.根据权利要求1或2所述的测试系统，其特征在于，

所述通信部将在本单元中生成的数据信号与从本单元的下层单元接收的数据信号进行整合，并且经由所述电缆将整合后的信号发送给本单元的上层单元或所述集成控制器。

4.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，

在所述多个单元中包括：

电压单元，其在向所述器件施加特定的电压时测量提供给所述器件的电流，并且生成表示所述电流的大小的数据信号；

电流单元，其在向所述器件提供特定的电流时测量施加到所述器件的电压，并且生成表示所述电压的大小的数据信号；以及

测量电路单元，其通过对与所述器件的各端子连接的单元进行切换来构成特定的测量电路。

5.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，

所述器件是半导体器件。

6.一种测试系统中的通信方法，所述测试系统包括：多个单元，其被用于器件的特性试验；以及集成控制器，其对所述多个单元进行控制，其中，所述多个单元使用电缆与所述集成控制器以菊花链方式连接，其特征在于，

所述通信方法包括如下步骤：

所述多个单元的中每个单元经由所述电缆接收由所述集成控制器发送的命令和时序信号；以及

所述多个单元的中每个单元经由所述电缆将由本单元生成的数据信号发送给所述集成控制器。