[发明专利]测试系统和通信方法

说明书

本发明提供了一种测试系统和通信方法，实现了硬件结构和软件结构比以往简单的测试系统。测试系统(1)的多个单元(11a～11b)与集成控制器(12)以菊花链方式连接。多个单元(11a～11b)中的每个单元(例如11b)接收由集成控制器(12)发送的命令(Ca+Cb+Cc+Cd)和时序信号(T1、T2、……)，并且将由本单元(例如11b)生成的数据信号(例如Db)发送给集成控制器(12)。

技术领域

本发明涉及用于进行器件的特性试验的测试系统。

背景技术

用于进行器件的特性试验的测试系统是公知的。例如，在专利文献1中公开了用于进行功率半导体器件的特性试验的测试系统。在专利文献1记载的测试系统中，使用与集成控制器连接的多个单元(低压单元、高压单元、大电流源单元)进行功率半导体器件的静态特性试验。

现有技术文献

【专利文献1】日本公开特许公报[日本特开2017-67555号]

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1记载的测试系统中，在以下方面留有改善的余地。

即，专利文献1记载的测试系统例如是通过使用LAN(Local Area Network：局域网)电缆将集成控制器与多个单元通过以太网(注册商标)连接来实现的。但是，以太网不保证通信的同步性。因此，在这种情况下，各单元执行操作(电压施加操作、电流提供操作、电压测量操作、电流测量操作等)的时序错开，其结果是，可能会产生所得到的测量值的精度下降的问题。因此，在专利文献1记载的测试系统中，采用如下结构：使用利用光缆与各单元连接的触发矩阵，控制各单元执行操作的时序。

但是，在这样测试系统中，由于存在两种类型的布线(LAN电缆和光缆)，因此对于系统整体和各单元而言，硬件结构都变得复杂。另外，在这样的系统中，由于控制主体是两个主体(集成控制器和触发矩阵)，因此对于控制主体和控制客体(各单元)而言，软件结构都变得复杂。硬件结构和软件结构的复杂化会导致成本增加这样的问题或容易产生不良情况这样的问题等，因此专利文献1记载的测试系统在这一点上留有改善的余地。

本发明的一个实施例是鉴于上述问题而完成的，其目的在于实现硬件结构和软件结构比以往简单的测试系统。

解决问题的方案

为了解决上述课题，本发明的一个实施例的测试系统包括：多个单元，它们被用于器件的特性试验；以及集成控制器，其对所述多个单元进行控制，所述多个单元使用电缆与所述集成控制器以菊花链方式(daisy chain)连接，所述多个单元的中每个单元具有通信部，该通信部经由所述电缆接收由所述集成控制器发送的命令和时序信号，并且经由所述电缆将由本单元生成的数据信号发送给所述集成控制器。

为了解决上述课题，本发明的一个实施例的通信方法是用于测试系统的通信方法，该测试系统包括：多个单元，它们被用于器件的特性试验；以及集成控制器，其对所述多个单元进行控制，所述多个单元使用电缆与所述集成控制器以菊花链方式连接，所述通信方法包括如下步骤：所述多个单元的中每个单元经由所述电缆接收由所述集成控制器发送的命令和时序信号；以及所述多个单元的中每个单元经由所述电缆将由本单元生成的数据信号发送给所述集成控制器。

发明效果

根据本发明的一个实施例，能够实现硬件结构和软件结构比以往简单的测试系统。

附图说明

图1是示出根据本发明的一个实施方式的测试系统的结构的框图。

图2是示出图1所示的测试系统中的命令的传送方法的流程的序列图。

图3是示出图1所示的测试系统中的数据的传送方法的流程的序列图。