[发明专利]保持具、定位装置、以及划线装置在审

专利信息
申请号: 202010213747.0 申请日: 2020-03-24
公开(公告)号: CN111825322A 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 西尾仁孝 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: C03B33/02 分类号: C03B33/02;C03B33/023;C03B33/10
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 张晶;谢顺星
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 保持 定位 装置 以及 划线
【权利要求书】:

1.一种保持具,其用于保持作为加工对象的基板,其中,所述保持具具备:

保持部件,其保持所述基板;

定位部,其进行所述保持部件中的所述基板的定位;以及

夹紧部件,其将定位于所述定位部的所述基板夹紧于所述保持部件。

2.根据权利要求1所述的保持具,其特征在于,

在所述保持部件上形成有开口。

3.一种定位装置,其具备:

固定部件,其能够在规定的平面内移动及旋转;以及

保持具,其具有:保持部件,其固定于所述固定部件,并保持基板;定位部,其进行所述保持部件中的所述基板的定位;以及夹紧部件,其将定位于所述定位部的所述基板夹紧于所述保持部件。

4.一种划线装置,其具备:

定位装置,其具有:固定部件,其能够在规定的平面内移动及旋转;以及保持具,其具有:保持部件,其固定于所述固定部件,并保持基板;定位部,其进行所述保持部件中的所述基板的定位;以及夹紧部件,其将定位于所述定位部的所述基板夹紧于所述保持部件;以及

划线机构,其设置在保持于所述保持具的基板的上表面侧和/或下表面侧。

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