[发明专利]保持具、定位装置、以及划线装置在审
申请号: | 202010213747.0 | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN111825322A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02;C03B33/023;C03B33/10 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保持 定位 装置 以及 划线 | ||
1.一种保持具,其用于保持作为加工对象的基板,其中,所述保持具具备:
保持部件,其保持所述基板;
定位部,其进行所述保持部件中的所述基板的定位;以及
夹紧部件,其将定位于所述定位部的所述基板夹紧于所述保持部件。
2.根据权利要求1所述的保持具,其特征在于,
在所述保持部件上形成有开口。
3.一种定位装置,其具备:
固定部件,其能够在规定的平面内移动及旋转;以及
保持具,其具有:保持部件,其固定于所述固定部件,并保持基板;定位部,其进行所述保持部件中的所述基板的定位;以及夹紧部件,其将定位于所述定位部的所述基板夹紧于所述保持部件。
4.一种划线装置,其具备:
定位装置,其具有:固定部件,其能够在规定的平面内移动及旋转;以及保持具,其具有:保持部件,其固定于所述固定部件,并保持基板;定位部,其进行所述保持部件中的所述基板的定位;以及夹紧部件,其将定位于所述定位部的所述基板夹紧于所述保持部件;以及
划线机构,其设置在保持于所述保持具的基板的上表面侧和/或下表面侧。
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