[发明专利]保持具、定位装置、以及划线装置

说明书

技术问题：抑制基板在输送过程中损伤。解决方案：保持具(100)具备：保持部件(101)、凹部(102)、夹紧部件(103)。保持部件(101)保持基板(S)。凹部(102)进行保持部件(101)中的基板(S)的定位。夹紧部件(103)将定位于凹部(102)的基板(S)夹紧于保持部件(101)。

技术领域

本发明涉及一种保持作为加工对象的基板的保持具、具备该保持具的定位装置、以及具备该定位装置的划线装置。

背景技术

以往已知切出玻璃基板、陶瓷基板等基板的装置。例如，有一种装置，其在贴合的玻璃基板上形成划分线，并切出该玻璃基板的小片(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5280442号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

在对现有的基板进行加工的装置中，利用输送机直接向该装置输送作为加工对象的基板。在作为加工对象的基板是非常脆的基板(薄玻璃基板等)的情况下，有时该基板会在输送机进行输送的过程中受到损伤。另外，在现有的装置中，通过将输送来的基板直接通过抽吸吸附等保持于工作台。因此，在保持基板后需要进行预定位。

本发明的目的在于，抑制作为加工对象的基板在输送过程中损伤。

(二)技术方案

下文说明多个方式作为用于解决问题的手段。这些方式可以根据需要任意组合。

本发明的一个方面的保持具是用于保持作为加工对象的基板的保持具。保持具具备：保持部件、定位部、夹紧部件。保持部件保持基板。定位部进行保持部件中的基板的定位。夹紧部件将定位于定位部的基板夹紧于保持部件。

通过在上述的保持具上保持基板，从而即使是非常脆的基板，也能够防止在输送过程中损伤。另外，通过在定位于定位部的状态下利用夹紧部件夹紧基板，从而不需要对基板进行加工之前的预定位。

在上述的保持具中，在保持部件上可以形成有开口。由此，能够同时对保持于保持具的基板的两面进行加工。

本发明的另一方面的定位装置具备：固定部件、保持具。固定部件能够在规定的平面内移动及旋转。保持具具有：保持部件，其固定于固定部件，并保持基板；定位部，其进行保持部件中的基板的定位；以及夹紧部件，其将定位于定位部的基板夹紧于保持部件。

由此，即使是非常脆的基板，也不会在输送过程中损伤，而能够将该基板输送到定位装置。另外，在定位装置中不需要预定位。即，定位装置只需要执行保持具整体的定位即可。

本发明的又一方面的划线装置具备：定位装置、划线机构。定位装置具有：固定部件、保持具。固定部件能够在规定的平面内移动及旋转。保持具具有：保持部件，其固定于固定部件，并保持基板；定位部，其进行保持部件中的基板的定位；以及夹紧部件，其将定位于定位部的基板夹紧于保持部件。划线机构设置在保持于保持具的基板的上表面侧和/或下表面侧。

由此，即使是非常脆的基板，也能够防止在输送到划线装置的过程中损伤。另外，在划线装置中不需要预定位。

(三)有益效果

通过在上述的保持具中保持作为加工对象的基板，而能够抑制基板在输送过程中损伤，并且不需要加工装置中的基板的预定位。

附图说明

图1是第一实施方式的保持具的俯视图。

图2是第一实施方式的保持具的沿着A-A’线的剖视图。

图3是第一实施方式的划线装置的概要剖视图。