[发明专利]一种真空紫外光源

权利要求书

1.一种真空紫外光源，其特征是，包括封装基座和透紫外光密封盖，封装基座表面设有若干个内、外电极，内外电极之间填充有气密材料且对应连接，封装基座本体外部设有合金框，透紫外光密封盖一侧的外边沿设有焊料环，封装基座和透紫外光密封盖通过合金框和焊料环的密封配合固定封接；封装基座和透紫外光密封盖之间设有气密腔体，封装基座内电极密封在气密腔体内，气密腔体内填充有惰性气体，气密腔体内还设有吸气剂和真空紫外光激发电极部件，吸气剂和真空紫外光激发电极部件均与封装基座固定连接，真空紫外光激发电极部件的电极通过导线和封装基座内电极连接，封装基座外电极设置在气密腔体外。

2.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的真空紫外光激发电极部件包括石英玻璃管侧壁和两个电极部件金属电极，两个电极 部件金属电极互相不接触，电极部件金属电极设置在石英玻璃管侧壁的外侧，两个电极部件金属电极分别与两根导线相连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的真空紫外光激发电极部件包括绝缘衬底和电极部件金属电极，电极部件金属电极设置在绝缘衬底上，电极部件金属电极一端与一根导线相连接，电极部件金属电极的另一端与另一根导线相连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的两个电极部件金属电极呈多对梳齿结构设置在绝缘衬底上。

5.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的真空紫外光激发电极部件包括两个电极部件金属电极，两个电极部件金属电极呈圆弧状分别对称设置，电极部件的金属电极通过玻璃焊料粘接在绝缘衬底的位置沟槽中，两个电极部件金属电极内侧设有绝缘层，金属部件金属电极中部设有与绝缘衬底平行的延伸部，延伸部通过导线连接至封装基座内电极。

6.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的吸气剂设置在真空紫外光激发电极部件和基座电极之间且靠近基座电极处。

7.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的焊料为玻璃焊料或Au₈₀Sn₂₀共晶焊料，所述焊料在350℃~750℃环境条件下完成封接固化。

8.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的透紫外光密封盖为径向垂直于C轴晶向的MgF₂单晶构成的光窗。

9.根据权利要求5所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的透紫外光密 封盖为径向垂直于C轴晶相的MgF₂单晶玻璃和4J49合金筒构成，4J49合金筒顶部与MgF₂封接固定，4J49合金筒底部与晶体管外壳封装基座气密封接。

10.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源，其特征是，所述的透紫外光密 封盖为圆形，圆形结构增强了光窗的在两侧差压作用下的机械强度。