[发明专利]一种真空紫外光源

说明书

本发明公开了一种真空紫外光源，解决了现有技术的不足，包括封装基座和透紫外光密封盖，封装基座的外侧设有绝缘结构，绝缘结构和封装基座本体之间设有两个基座电极，绝缘结构的顶部设有可伐合金框，透紫外光密封盖下方设有共晶焊料环，封装基座和透紫外光密封盖通过可伐合金框和焊料环之间的密封配合固定连接；封装基座和透紫外光密封盖之间设有气密腔体，气密腔体内填充有惰性气体，气密腔体内还设有吸气剂和真空紫外光激发电极部件，吸气剂和真空紫外光激发电极部件均通过焊料与封装基座固定连接，真空紫外光激发电极部件通过导线和基座电极顶层相连接，基座电极底层设置在绝缘结构底侧。

技术领域

本发明涉及电子技术领域，尤其是指一种真空紫外光源。

背景技术

真空紫外光源能辐射10-200nm波长的深紫外光，在此波段内的光子能量超过了大多数有机物分子中化学键的键能，有机物分子受高于其电离能的光子作用时可发生光电效应，致使有机物分子发生电离而形成相应的离子且不破坏有机物分子结构，电离电流大小与有机物分子浓度正相关，因此紫外光在分析检测领域具有广泛的应用。

分析检测领域用的真空紫外光源，根据其激发方式和结构的不同，可以分为两种：一种是高压直流真空紫外光源，另一种是射频（Radio Frequency，RF）无极真空紫外光源。高压直流紫外光源的紫外光由两个金属电极间的直流高压激发气体形成等离子体，为了避免灯内高能离子对电极的轰击，所以光源的结构设计的较复杂，而且体积较大，在现场应用中基本已被淘汰。RF无极真空紫外光源则将低压放电气体密闭在玻璃壳内，紫外光通过透光材料放出。它的优势：结构简单，灯内没有金属电极，它的激发电极被置于灯外壁，检测灵敏度比较高。RF无极真空紫外光源的激发方式有：电容耦合激发和电感耦合激发，电容耦合激发不易受干扰，系统稳定性高。

目前小型化有机物分析检测仪器中常用的真空紫外光源的工作原理为电容/电感耦合射频无极激发，这种光源虽经半个世纪发展仍是采用含有低气压惰性气体的玻璃壳体与光窗的气密封接而成，相关专利申请有CN 89106035.6、US 4013913、US 4398152、US5561344、US 6225633、US 6646444、US 2005/0218811 A1、US 6225633、US 6313638、US5773833、DE 19535216 C1、RU 193903U1等。

上述的真空紫外光源尺寸大、无法集成、生产效率低、成本高，无法满足微型化气体分析检测和日益增长的环境气体网络化监测等领域的应用需求。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中的缺点，提供一种真空紫外光源。

本发明的目的是通过下述技术方案予以实现：

一种真空紫外光源，包括封装基座和透紫外光密封盖，封装基座表面设有若干个个内、外电极，内外电极之间填充有气密材料且对应连接，封装基座本体外部设有合金框，透紫外光密封盖一侧的外边沿设有焊料环，封装基座和透紫外光密封盖通过合金框和焊料环的密封配合固定封接；封装基座和透紫外光密封盖之间设有气密腔体，封装基座内电极密封在气密腔体内，气密腔体内填充有惰性气体，气密腔体内还设有吸气剂和真空紫外光激发电极部件，吸气剂和真空紫外光激发电极部件均与封装基座固定连接，真空紫外光激发电极部件的电极通过导线和封装基座内电极连接，封装基座外电极设置在气密腔体外。吸气剂在激活条件下被激活后用于吸取封装腔中惰性气体以外的气体成份，保证气密腔内始终为惰性气体，提升真空紫外光源的稳定性，焊料为共晶合金焊料或者玻璃焊料。惰性气体需要达到光源工作所需要的压强。封装基座外电极上施加紫外光激发电学信号，信号经过导线传输至真空紫外光激发电极部件，真空紫外光激发电极部件工作使惰性气体被激发成为等离子体，等离子体辐射出真空紫外光。

作为一种优选方案，所述的真空紫外光激发电极部件包括石英玻璃管侧壁和两个电极部件金属电极，两个电机部件金属电极互相不接触，电极部件金属电极设置在石英玻璃管侧壁的外侧，两个电极部件金属电极分别与两根导线相连接。